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MC & MCR系列質量流量控制器參數:
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程
產品性能: MC & MCR 系列質量流量控制器
精度(調零后標準條件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度選配(調零后標準條件下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)
高精度(選配)僅適用于量程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的設備
重復性: ±0.2% F.S
零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm
工作范圍 / 量程可調比: 0.5% ~ 100 F.S / 200:1
很大可控流量： 102.4% F.S
典型響應時間： 100 毫秒(可調整)
啟動預熱時間: < 1 秒
運行工況: MC & MCR 系列質量流量控制器
標準工況 :(STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)
工作溫度: ?10 ~ +50 oC
工作濕度范圍 (非冷凝) :0 ～ 100
內部很大工作壓力(靜壓): 145 psig
很限壓力: 175 psig
對安裝方式/方向的要求: MC: 無 MCR: 閥門須垂直安裝
閥門狀態(tài): 閥門常閉
防護等級: IP40
材質 :MC: 303 & 302不銹鋼, Viton®, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍, 鋁 , 黃銅, 430FR 不銹鋼, 硅, 玻璃 MCR: 303 & 302不銹鋼, Viton®, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強 尼龍, 鋁, 416不銹鋼, 鎳, 硅, 玻璃
