項(xiàng)目 | 通用指標(biāo) |
頻率 | 2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz |
頻率誤差 | 0.005% |
額定輸出功率 | 1500W |
輸出功率接范圍 | 10-1500W |
功率步進(jìn) | 1W |
功率重復(fù)性(同一電源) | ±1% |
整機(jī)效率(額定功率下) | 60% |
散熱方式 | 風(fēng)冷散熱 |
通信接口 | Analog/Ether CAT/RS232/RS485/Ether NET/local |
功率模式 | Forward power;load power |
欲知更多詳細(xì)技術(shù)參數(shù)請(qǐng)點(diǎn)擊“立即咨詢(xún)”聯(lián)系我司客服進(jìn)行了解!
- 工作模式
-
連續(xù)波
- 應(yīng)用范圍
-
PECVD薄膜沉積
ICP/CCP干法刻蝕
等離子清洗
材料改性