詳細(xì)描述: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
儀器適用范圍: 伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,我國(guó)半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測(cè)而開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng),反射式暗場(chǎng)和偏光系統(tǒng),使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)場(chǎng)合。 儀器特性:
高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng),確保儀器在對(duì)各試樣檢驗(yàn)時(shí)均能獲得良好的成像質(zhì)量。 無(wú)限遠(yuǎn)校正像差長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡 MA3000配用了本公司開(kāi)發(fā)的視場(chǎng)數(shù) 22mm無(wú)限遠(yuǎn)校正像差超長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差系列物鏡。對(duì)各種被檢測(cè)的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長(zhǎng)工作距離,可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡 在反射照明光路中,明場(chǎng)、暗場(chǎng)和偏光可快速轉(zhuǎn)換 MA3000配有明場(chǎng)和暗場(chǎng)共用的物鏡,只要拉動(dòng)拉桿,即可明場(chǎng)暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換;只需插入或拉出起偏器和檢偏器,即可偏光轉(zhuǎn)換,操作十分方便。 采用完善的柯拉照明系統(tǒng) MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng),在整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)照明均勻。 MA3000大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配套表
注:●為件,○為可選件。 |