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SAMCO二手ICP刻蝕機(jī)RIE-230iP現(xiàn)貨供應(yīng)

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  • 公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/13 19:20:45
  • 訪問次數(shù)243
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青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室,坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
十年的時(shí)間里,公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì),也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),使我們?cè)谖磥淼陌l(fā)展中,有底氣的大踏步前進(jìn)。目前,佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù),不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售,更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯,再見時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔,隨時(shí)可以為人類健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè),從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國實(shí)驗(yàn)室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營理念,為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

SAMCOICP刻蝕機(jī)RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式,高速進(jìn)行各種材料的超精細(xì)加工的負(fù)載鎖定型ICP蝕刻系統(tǒng)
SAMCO二手ICP刻蝕機(jī)RIE-230iP現(xiàn)貨供應(yīng) 產(chǎn)品信息

SAMCO ICP刻蝕機(jī)RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式,高速進(jìn)行各種材料的超精細(xì)加工的負(fù)載鎖定型ICP蝕刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過采用的龍卷風(fēng)式線圈電極,高效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體,可對(duì)硅及各種金屬薄膜和化合物半導(dǎo)體進(jìn)行高精度的各向異性蝕刻。此外,?230mm的托盤可同時(shí)處理多種化合物半導(dǎo)體。

主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

龍卷風(fēng)線圈電極

它能有效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體,使蝕刻具有高選擇性、高精度和良好的均勻性。

低損傷工藝

通過ICP產(chǎn)生高密度的等離子體,實(shí)現(xiàn)了低偏置、低損傷的工藝。

溫度控制

電調(diào)和He冷卻的平臺(tái)和反應(yīng)室內(nèi)側(cè)壁的溫度控制使蝕刻在穩(wěn)定的條件下進(jìn)行。

應(yīng)用

GaN、GaAs、InP等化合物半導(dǎo)體的高精度加工。鐵電材料、電極材料等難蝕材料的加工。

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關(guān)鍵詞:刻蝕機(jī)
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