等離子去膠機(jī) IoN Wave 10E
IoN Wave 10E等離子去膠機(jī)是我們在微波等離子處理工藝中的新產(chǎn)品。該批次式晶圓灰化設(shè)備成本低廉、尺寸適中,特別適用于工廠、科研院所等領(lǐng)域。
IoN Wave 10E使用性能出色的組件和軟件,可對工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、MEMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。
IoN Wave 10E占地面積小,安裝和維護(hù)簡單。依靠微波等離子技術(shù),該設(shè)備在提供光刻膠高灰化速度的同時(shí),的降低了產(chǎn)品暴露在靜電放電(ESD)中。
規(guī)格參數(shù)
工作腔室
材質(zhì) 石英
尺寸 248mm直徑 x 397 mm長
腔門處直徑 241mm
容積 升
工藝氣體控制 最多至6路氣體,MFC控制
基礎(chǔ)壓力 mbar (50 mTorr)
工藝壓力 – mbar (375 – 1125 mTorr)
抽真空時(shí)間 大約1分鐘
微波發(fā)生器
頻率 GHz
輸出功率 1200W
供給需求
電源 220V,50 Hz,單相
工藝氣體 輸入壓力1-2 Bar
壓縮空氣 4-6 Bar,流速 56 升/分鐘 (間歇式)
吹掃氣體 Bar,流速 28 升/分鐘 (間歇式)
尺寸 寬/高/深 775 x 749 x 781 mm
重量 135 千克
可選配置
推拉門
石英舟支撐桿
溫控板
1%精度的真空規(guī)
壓力控制器
指示燈柱
條形碼閱讀器
工藝氣體切換器
光譜終點(diǎn)檢測器
法拉第桶(次級等離子體)
陶瓷腔室,耐化學(xué)腐蝕密封圈
打印機(jī)
油泵或干泵
功能性:
臺式設(shè)計(jì),占地面積小
石英腔室可容納8寸的晶圓,最多同時(shí)裝載25片6寸晶圓
使用Windows操作系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)控制
符合Semi E95-1101要求的圖形用戶界面(GUI)
軟件提供了不同的用戶訪問權(quán)限:操作員、工藝編寫、維護(hù)
通過以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程工藝監(jiān)測
機(jī)載診斷功能和報(bào)警記錄
工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能
液晶觸摸屏(LCD)操作面板
基于在線網(wǎng)絡(luò)的模擬、培訓(xùn)和支持程序
安裝簡單快捷
典型應(yīng)用
去除光刻膠
晶圓打膠
濕法刻蝕前的晶圓清潔
去除SU-8
刻蝕鈍化層
失效分析中的器件開封
清潔和表面活化
化學(xué)微量分析中的低溫材料灰化
過濾器和濾膜的清潔