CCR閉循環(huán)系列探針臺(tái)
Janis CCR閉循環(huán)系列探針臺(tái)為研究人員提供了真空和低溫測(cè)試功能,而無需使用液態(tài)制冷劑。4 K、10 K和80 K低溫恒溫器使用成熟的Gifford-McMahon(GM)技術(shù)進(jìn)行可靠且價(jià)格合理的樣品冷卻。典型應(yīng)用包括MEMS、納米級(jí)電子、超導(dǎo)、鐵電、材料科學(xué)和光學(xué)。
配置:
● 振動(dòng)小于1 µm
● 溫度范圍(安裝了4個(gè)探頭臂)從 K到350 K(可選: K到475 K或 K到675 K)
● 最多可容納2英寸(51毫米)直徑的晶圓(可選:8英寸[200毫米])(有關(guān)更多詳細(xì)信息,請(qǐng)參見規(guī)格表)
● 多達(dá)八個(gè)冷卻,易于互換的微操作探針臂
● 直流至67 GHz的電學(xué)測(cè)量
● 性價(jià)比高的LF探針,易于更換
● 三軸探頭臂的泄漏電流非常低(在1 V時(shí)通常為1至2 fA)
● 非接觸式,非破壞性的Kelvin探針
● 多頭探針
● 帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂
● 帶有電纜和電線的附加電氣穿通線到樣品區(qū)域
● 可選的特殊微型真空腔,可將真空狀態(tài)下的樣品從手套箱轉(zhuǎn)移到探針臺(tái)
● 適用于所有單筒望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)組件的精確平移xyz行程平臺(tái)
● 可選的可移動(dòng)樣品座
● 客戶定制選件
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