德國(guó)MBE 分子束外延系統(tǒng)OCTOPLUS 400
系統(tǒng)特點(diǎn):
● 用于研發(fā)的普適性MBE系統(tǒng)
● 應(yīng)用于III/V族, II/VI族材料外延生長(zhǎng)
● 適用于2-4英寸樣品
● 8個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的CF法蘭孔(根據(jù)要求可以拓展到10個(gè))
● 可以升級(jí)和選配實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)擴(kuò)展
● 原位生長(zhǎng)表征
● 易于使用和方便維護(hù)
系統(tǒng)特點(diǎn):
● 用于研發(fā)的普適性MBE系統(tǒng)
● 應(yīng)用于III/V族, II/VI族材料外延生長(zhǎng)
● 適用于2-4英寸樣品
● 8個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的CF法蘭孔(根據(jù)要求可以拓展到10個(gè))
● 可以升級(jí)和選配實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)擴(kuò)展
● 原位生長(zhǎng)表征
● 易于使用和方便維護(hù)