英國(guó)HHV TF500/TF600適合*研發(fā)和試生產(chǎn)的全功能系統(tǒng)
系統(tǒng)配置不銹鋼真空腔室,高真空泵安裝在腔室后方。工藝附件布局采用特殊設(shè)計(jì),向每個(gè)客戶(hù)提供滿(mǎn)意適配化的方案。工藝附件包括熱阻及電子束蒸發(fā)源、直流及射頻濺射源、用于工件刻蝕或輔助沉積的離子源。系統(tǒng)可以同時(shí)配置熱阻、電子束及磁控濺射源。濺射系統(tǒng)可以配置成向上或向下濺射的結(jié)構(gòu)。工件臺(tái)選項(xiàng)包括加熱、冷卻、偏壓和預(yù)進(jìn)樣操作等。
系統(tǒng)控制選項(xiàng)包括穩(wěn)定的PLC真空控制系統(tǒng)配合手動(dòng)操作的工藝附件的簡(jiǎn)單模式,或者計(jì)算機(jī)集成控制的自動(dòng)模式。