產(chǎn)品特點(diǎn)
觸摸屏操作界面
數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示
三色燈異常報(bào)警功能
自動(dòng)/手動(dòng)操作模式切換
可存儲(chǔ)多套工藝配方
遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出(可選)
模塊多樣化選擇,多層托架可選,處理量大
數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示
三色燈異常報(bào)警功能
自動(dòng)/手動(dòng)操作模式切換
可存儲(chǔ)多套工藝配方
遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出(可選)
模塊多樣化選擇,多層托架可選,處理量大
產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) | JY-36LN | ||
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動(dòng)控制(自動(dòng)/手動(dòng)切換) | |
PLC(標(biāo)配)/PC(可選) | |||
操作系統(tǒng) | PLS定制 | ||
觸摸屏 | 15寸 | ||
整機(jī)規(guī)格 | 尺寸 | W650×D900×H1650mm | |
腔體 | 尺寸 | 320×280mm | |
材質(zhì) | 鋁合金(標(biāo)配)/不銹鋼(可選) | ||
電極 | 尺寸 | W390×D317mm | |
層數(shù) | 1-7層,可選 | ||
托架 | 材質(zhì) | 鋁合金(標(biāo)配)/不銹鋼(可選) | |
層數(shù) | 1層 | ||
真空計(jì) | 皮拉尼式真空計(jì) | 1個(gè) | |
流量計(jì) | MFC質(zhì)量流量控制器 | 2個(gè);Ar、N2、O2(可選) | |
真空泵 | 機(jī)械油式旋片泵 | 1套 | |
發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz,0~1000W | 13.56MHz,0~500W |
額定功率 | 整機(jī)峰值功率 | 4KW | |
機(jī)臺(tái)供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購(gòu)品 | 干式泵、氣浴電極(打孔)、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機(jī)、模溫機(jī)、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件 |
注:以上參數(shù)僅供參考,本公司可能對(duì)相關(guān)產(chǎn)品參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,如有變動(dòng),恕不再另行通知。若有不明處,歡迎來(lái)電詢問(wèn)。
工作原理
暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí),會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
應(yīng)用領(lǐng)域
包裝清洗、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻、增強(qiáng)粘接力、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用、聚合反應(yīng)、混合物清洗、預(yù)結(jié)合清洗
快速反應(yīng),專業(yè)配合,精心打造服務(wù)生態(tài)鏈