有機發(fā)光二極管(OLED)技術(shù)作為一種新興顯示技術(shù)，具有器件輕薄、可視角度大、柔性顯示、節(jié)省電能等優(yōu)勢，已廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域。矽碁科技具有豐富的OLED系統(tǒng)集成經(jīng)驗，可根據(jù)客戶需求，集成各類工藝腔體，為客戶量身打造OLED技術(shù)開發(fā)設(shè)備。矽碁提供兩種OLED設(shè)備架構(gòu)：

Cluster架構(gòu)：傳輸腔體連接各工藝腔體，機械手臂傳片，全自動控制，可連續(xù)生產(chǎn)

In-line架構(gòu)：手套箱串接各工藝腔體，手動傳片，架構(gòu)靈活，拓展性強，性價比高

矽碁科技擁有超過10年的OLED Cluster設(shè)備制造的經(jīng)驗，同時與學(xué)術(shù)和工業(yè)界都有非常密切的的合作。矽碁科技還與中國臺灣多家*的OLED研究機構(gòu)建有合作實驗室(明志科技大學(xué)，曜凌光電)，長期從事OLED技術(shù)研發(fā)和技術(shù)更新，可與客戶進行深度的OLED技術(shù)交流及合作。

可選配置：

1 預(yù)處理腔體；

2 傳輸腔體；

3 有機物蒸發(fā)鍍膜腔體；

4 金屬蒸發(fā)鍍膜腔體；

5 磁控濺射腔體；

6 原子層沉積封裝腔體；

7 高分子封裝鍍膜腔體；

8 Mask/基片存儲腔體；

9 機械/CCD對準(zhǔn)機構(gòu)；

10 手套箱集成；

手動傳樣三腔體OLED Cluster

帶ALD封裝的三腔體OLED Cluster

標(biāo)準(zhǔn)6邊型OLEDCluster

標(biāo)準(zhǔn)全自動OLED Cluster鍍膜系統(tǒng)