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廣電計量檢測集團股份有限公司

磁控濺射鍍膜機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱湖南艾科威半導體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/30 18:34:00
  • 訪問次數(shù)380
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湖南艾科威智能裝備有限公司是集科研、制造、生產、銷售、服務為一體的,業(yè)務主要覆蓋集成電路、分立器件、5G通訊、光電器件、傳感器等半導體領域,設備廣泛用于科研機構,大專院校,生產企業(yè)和公司的器件研究,開發(fā)和批量生產。公司致力于更*的設備與系統(tǒng)解決方案供應商。 公司擁有一批在半導體裝備領域豐富經驗的專業(yè)技術團隊。各類技術人才齊全,具有自主研發(fā),設計和生產的能力,公司始終堅持"質量是企業(yè)的生命,創(chuàng)新是企業(yè)發(fā)展的動力"為客戶提供更優(yōu)質的產品和便捷的服務。 公司產品與工藝相結合,依托完備的設計基礎和優(yōu)勢的工藝技術力量,公司在產品設備上,開發(fā)了相應的工藝,達到工藝與設備的結合,讓用戶獲得更佳的效果及解決方案. 服務領域集成電路、混合電路、分立器件、5G通訊、光電器件、傳感器、微波器件。
磁控濺射設備是一種多功能、高效率的鍍膜設備??梢栽谔沾?、玻璃、石英、硅片等基底材料上濺鍍金屬、非金屬、氧化物、介質等材料的薄膜,如:Au、Al、NiCr、TiW、Si、Al2O3、Si3N4、ZnO、ITO等。濺鍍膜層均勻、致密、附著力強,可應用到新型電子材料制備及光學、太陽能、半導體等領域。
磁控濺射鍍膜機 產品信息
磁控濺射系統(tǒng)
設備特點:
●具有多個濺射靶,可沉積單層、多層薄膜、合金薄膜和摻雜薄膜;
●濺射方式:自下而上濺射、自上而下濺射可選;
●基片臺可加熱,可制備單晶薄膜;
●可選配輔助清洗離子源,有效提高薄膜的附著力;
技術指標
●靶材數(shù)量:2-4個
●基片尺寸:2-8英寸
●基片臺轉速:5-30rpm,轉速連續(xù)可調
 
In-line磁控濺射系統(tǒng)
設備特點
●臥室雙腔結構,工件盤在上料室裝片,在濺射室進行掃描運動濺射成膜;
●上料室預抽真空,保證濺射室良好的真空環(huán)境,實現(xiàn)連續(xù)生產;
●配置基片烘烤、清洗功能;
●用戶具有多級操作權限,具備一鍵式全自動工藝運行,歷史數(shù)據可查詢。
●靶材利用率高
技術指標
●基片尺寸: 400mm × 400mm 
●工件盤掃描速度:50mm/s ~ 200mm/s ,連續(xù)可調
 
應用范圍
  在平面基片表面鍍制各種金屬、非金屬、化合物等薄膜材料。如Al、Cu、Au、Pt、Ti、Ni、W、NiCr、TiW、SiO2、Al2O3、TiO2、ZnO、TaN、ITO等薄膜。
 
15700106413
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