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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

VTC-180EVS濺射蒸發(fā)一體機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地沈陽(yáng)市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/30 21:11:51
  • 訪問次數(shù)226
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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國(guó)麻省理工學(xué)院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來(lái),沈陽(yáng)科晶便開始了以趕超國(guó)外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽(yáng)科晶立足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)實(shí)際情況,以提供實(shí)用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國(guó)外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價(jià)格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價(jià)比不僅吸引了眾多國(guó)內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國(guó)客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷于印度、馬來(lái)西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國(guó)家,并大量出口于美國(guó)。  沈陽(yáng)科晶一直致力于高等院校、研究所、生產(chǎn)企業(yè)的科研服務(wù),即產(chǎn)品定位于研究市場(chǎng),主要面向廣大高等院校、科研機(jī)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室以及工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。多年以來(lái),已與全國(guó)眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務(wù)關(guān)系。其中北京大學(xué)、清華大學(xué)、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國(guó)科學(xué)地質(zhì)與地球物理研究所等科研機(jī)構(gòu),中國(guó)航天工業(yè)集團(tuán)公司、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司、攀鋼集團(tuán)有限公司等企業(yè)都是長(zhǎng)期合作的榮譽(yù)客戶。  沈陽(yáng)科晶為了更好地服務(wù)客戶,專門設(shè)立了開放式專業(yè)實(shí)驗(yàn)室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗(yàn)環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開設(shè)以來(lái),制作的樣品達(dá)上千件,接待來(lái)訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國(guó)友人的來(lái)訪。在此,沈陽(yáng)科晶全體員工誠(chéng)摯地歡迎您的到來(lái),并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽(yáng)科晶擁有優(yōu)質(zhì)、高效、專業(yè)的銷售咨詢、售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),能夠?yàn)槊恳晃豢蛻籼峁┎少?gòu)建議與方案、完善的使用指導(dǎo)與售后服務(wù)。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽(yáng)科晶每個(gè)員工不懈努力的目標(biāo)?! ∩蜿?yáng)科晶一路走過(guò)的歷程,是為我國(guó)材料研究事業(yè)全力貢獻(xiàn)的歷程,是以實(shí)際行動(dòng)將自己打造成國(guó)內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程,是與國(guó)外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長(zhǎng)歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅(jiān)持不懈的沈陽(yáng)科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅(jiān)持,相信在不久的將來(lái),沈陽(yáng)科晶也將會(huì)成為國(guó)際市場(chǎng)上專業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌,沈陽(yáng)科晶的明天會(huì)更加燦爛輝煌。
VTC-180EVS濺射蒸發(fā)一體機(jī)
VTC-180EVS濺射蒸發(fā)一體機(jī) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介VTC-180EVS濺射蒸發(fā)一體機(jī)主要應(yīng)用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室及微小產(chǎn)品進(jìn)行真空鍍膜等真空處理的工藝研究、樣板試制、操作培訓(xùn)和生產(chǎn)。

產(chǎn)品名稱

VTC-180EVS濺射蒸發(fā)一體機(jī)

主要特點(diǎn)

1、磁控濺射和電阻蒸發(fā)雙應(yīng)用。本機(jī)采用可磁控濺射與電阻蒸發(fā)免拆卸轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu),可快速實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的轉(zhuǎn)換。
2、桌面小型一體化結(jié)構(gòu)。本機(jī)對(duì)真空腔體、鍍膜電源及控制系統(tǒng)進(jìn)行整合設(shè)計(jì),體積與一臺(tái)A3 打印機(jī)相仿(不包含真空機(jī)組,480x320x460mm,寬X 高X 深)
3、單、三靶濺射。本機(jī)的磁控濺射單元裝有三支2 英寸磁控靶或一支3 英寸磁控靶。以適應(yīng)不同用戶的需求。三靶濺射單元裝有靶擋板及靶切換半開關(guān),并與擋板聯(lián)動(dòng)。
4、高性能開關(guān)式直流濺射電源。本機(jī)配裝我公司自行研制的高性能濺射用直流電流,由于采用開關(guān)電源所以對(duì)濺射過(guò)程中產(chǎn)生的弧光放電具有非常強(qiáng)的抑制作用;電源還具有恒流和恒功率兩種濺射工作方式,以適用不同用
戶的需求。
5、雙蒸發(fā)源。蒸發(fā)單元中裝有兩組蒸發(fā)電極可安裝不同的蒸發(fā)源,適應(yīng)相應(yīng)的鍍膜材料。
6、高穩(wěn)定度恒流蒸發(fā)電源。本機(jī)配裝0.1%精度蒸發(fā)電源,并具有恒流輸出功能,對(duì)蒸發(fā)舟能起到很好的保護(hù)作用。
7、鍍膜厚度與速率控制。本鍍膜機(jī)可選配本公司研制石英晶體膜厚控制儀,在鍍膜過(guò)程中可對(duì)鍍膜速率和膜層厚度進(jìn)行控制。
8、數(shù)據(jù)記錄。鍍膜機(jī)可將采集到的鍍膜數(shù)據(jù)保存到U 盤,便于用戶分析控制(選配)。
9、模塊化設(shè)計(jì)。本機(jī)將所有功能單設(shè)計(jì)成標(biāo)準(zhǔn)化模塊,根據(jù)用戶不的需求對(duì)相應(yīng)模塊進(jìn)行組合。以達(dá)到化的鍍膜環(huán)境。并便于用戶維修與維護(hù)。
10、圖形化操作界面及觸屏控制。本機(jī)操作控制采用7 英寸TFT 顯示屏顯示操作界面,觸屏操作,實(shí)現(xiàn)全圖形化界面,易用易懂。

技術(shù)參數(shù)

1、濺射靶規(guī)格: 2 英寸/3 支(帶擋板)或3 英寸1 支圖1、圖2

2、蒸發(fā)電源功率: 1000W/5V/200A圖3
3、蒸發(fā)電極有效距離: 55mm圖3

4、樣品臺(tái)規(guī)格: 直徑150mm(可選配旋轉(zhuǎn)、擋板和偏壓功能)圖4

5、供電電壓: AC220V/2000W
6、濺射電源功率: 500W/600V

7、膜厚測(cè)量精度: 0.1Å 或0.01Å(高精度型)
8、充氣流量: 50SCCM/100SCCM(兩路選配)
9、氣源壓力: <0.15KPa
10、外接真空機(jī)組: 2 升(AC220V)可選配國(guó)產(chǎn)擴(kuò)散泵機(jī)組、國(guó)產(chǎn)機(jī)組或進(jìn)口機(jī)組。
11、真空接口規(guī)格: KF40
12、極限真空度: >2.0x10-3Pa、2.0x10-4Pa
13、工作真空度: 3~0.5Pa(磁控)
14、冷卻水壓力: 0.2~0.4Kpa
15、使用環(huán)境溫度: <35℃
16、使用環(huán)境濕度: <75%(相對(duì)濕度)不結(jié)露
17、使用環(huán)境海拔: <1500m

(圖1)

(圖2)

(圖3)

(圖4)

產(chǎn)品規(guī)格

1、外型尺寸: 480x320x460(寬x 高x 深)不包含真空泵
2、重量: 約47Kg 不包含真空泵

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