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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

微型PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地沈陽(yáng)市
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/30 21:21:13
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)162
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國(guó)麻省理工學(xué)院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來(lái),沈陽(yáng)科晶便開(kāi)始了以趕超國(guó)外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿(mǎn)足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽(yáng)科晶立足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)實(shí)際情況,以提供實(shí)用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國(guó)外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價(jià)格定位卻僅僅是其幾分之一。的性?xún)r(jià)比不僅吸引了眾多國(guó)內(nèi)客戶(hù),而且令挑剔的外國(guó)客商也稱(chēng)贊不已,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)于印度、馬來(lái)西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國(guó)家,并大量出口于美國(guó)?! ∩蜿?yáng)科晶一直致力于高等院校、研究所、生產(chǎn)企業(yè)的科研服務(wù),即產(chǎn)品定位于研究市場(chǎng),主要面向廣大高等院校、科研機(jī)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室以及工廠(chǎng)的小規(guī)模生產(chǎn)。多年以來(lái),已與全國(guó)眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務(wù)關(guān)系。其中北京大學(xué)、清華大學(xué)、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國(guó)科學(xué)地質(zhì)與地球物理研究所等科研機(jī)構(gòu),中國(guó)航天工業(yè)集團(tuán)公司、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司、攀鋼集團(tuán)有限公司等企業(yè)都是長(zhǎng)期合作的榮譽(yù)客戶(hù)?! ∩蜿?yáng)科晶為了更好地服務(wù)客戶(hù),專(zhuān)門(mén)設(shè)立了開(kāi)放式專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室,配備了優(yōu)秀的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗(yàn)環(huán)境,而且還可得到專(zhuān)業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開(kāi)設(shè)以來(lái),制作的樣品達(dá)上千件,接待來(lái)訪(fǎng)客戶(hù)參觀(guān)百余次,其中包括多次外國(guó)友人的來(lái)訪(fǎng)。在此,沈陽(yáng)科晶全體員工誠(chéng)摯地歡迎您的到來(lái),并希望您能提出寶貴的意見(jiàn)與建議。此外,沈陽(yáng)科晶擁有優(yōu)質(zhì)、高效、專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售咨詢(xún)、售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),能夠?yàn)槊恳晃豢蛻?hù)提供采購(gòu)建議與方案、完善的使用指導(dǎo)與售后服務(wù)。使每一位客戶(hù)的需求得到滿(mǎn)足是沈陽(yáng)科晶每個(gè)員工不懈努力的目標(biāo)?! ∩蜿?yáng)科晶一路走過(guò)的歷程,是為我國(guó)材料研究事業(yè)全力貢獻(xiàn)的歷程,是以實(shí)際行動(dòng)將自己打造成國(guó)內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程,是與國(guó)外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶(hù)相扶相持的成長(zhǎng)歷程。雖一路充滿(mǎn)坎坷與荊棘,但堅(jiān)持不懈的沈陽(yáng)科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅(jiān)持,相信在不久的將來(lái),沈陽(yáng)科晶也將會(huì)成為國(guó)際市場(chǎng)上專(zhuān)業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌,沈陽(yáng)科晶的明天會(huì)更加燦爛輝煌。
微型PECVD系統(tǒng)
微型PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:微型PECVD系統(tǒng)采用Ø3" × 16" 的石英腔體,內(nèi)部設(shè)有加熱圈對(duì)樣品進(jìn)行加熱,溫度可以達(dá)到400℃,且采用程序化控溫,系統(tǒng)還配有2通道混氣裝置和雙旋機(jī)械泵,整套系統(tǒng)安放于移動(dòng)架上,便于實(shí)驗(yàn)操作。本系統(tǒng)系對(duì)于薄膜生長(zhǎng)和納米線(xiàn)的制作是的選擇。

 

產(chǎn)品型號(hào)

微型PECVD系統(tǒng)

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、加熱圈套有石英罩,以減小熱量損失。

2、樣品可置于加熱線(xiàn)圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度均勻性。

3、采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序。

4、設(shè)有一滑動(dòng)法蘭安裝于移動(dòng)加上,以便于樣品的放入和取出。

5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

等離子源

1、等離子體射頻電源:110V/220V  50Hz/60Hz   <100W

2、輸出頻率:13.56MHz

3、射頻功率:7.2W、10.5W、18W三檔,可調(diào)節(jié)

4、腔體尺寸:外徑Ø76.2mm×內(nèi)徑Ø68.58mm×長(zhǎng)406.4mm

5、加熱圈:電源220V,功率500W外徑Ø50mm×內(nèi)徑Ø40mm×70mm,并套有內(nèi)徑Ø50.8mm×Ø75mm的石英罩

6、法蘭Ø3″不銹鋼法蘭,設(shè)有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥

7、通入氣體:可通入多種惰性氣體,如N2、Ar,不可通入易燃易爆性氣體

8、真空度:10-2torr(機(jī)械泵)

兩通道混氣系統(tǒng)

1、浮子流量計(jì):10ml/min-100ml/min,2個(gè)

2、針閥:304不銹鋼針閥,3個(gè)

3、壓力表:-0.1MPa-1.0MPa0.01MPa/grid),3個(gè)

真空泵

1、抽氣速率:120L/min

2、接口:KF-25

產(chǎn)品規(guī)格

1、尺寸:等離子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,

     兩通道混氣系統(tǒng)340mm×300mm×180mm,移動(dòng)架600mm×600mm×1250mm

2、重量:32kg


產(chǎn)品對(duì)比
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