PVA TEPLA / TECHNICS 300 AUTOLOAD PC刻蝕機,2007年設(shè)備,可對6-8英寸的晶圓進行蝕刻工藝加工處理
制造商:PVA TEPLA / TECHNICS
型號:300 AUTOLOAD PC
類別:ETCHERS / ASHERS
年份:2007
晶圓尺寸:6"-8"
設(shè)備詳細信息:
微波等離子批處理系統(tǒng),6"-8"
當(dāng)前配置用于 6"
PC 控制器
批量大?。?25) 每個負載的晶圓
陶瓷腔室(φ x 深度):9.6" x 15"
微波頻率:2.45 GHz
功率:1000 W
( 4) 氣體通道
MFC 校準(zhǔn) N2
1000 SCCM
MKS Baratron 電容壓力計