產(chǎn)品介紹
4D公司的大口徑相移干涉儀，采用AccuFiz高分辨菲索干涉儀做為主機(jī)，擴(kuò)束器設(shè)計緊湊，內(nèi)部采用碳纖維支撐結(jié)構(gòu)，最小化熱靈敏度，保證長時間運行的穩(wěn)定性。主機(jī)置于定位支架上，可以簡單、快速、精確定位主機(jī)相對于擴(kuò)束器的位置。
4D公司的大口徑相移干涉儀，采用AccuFiz高分辨菲索干涉儀做為主機(jī)，擴(kuò)束器設(shè)計緊湊，內(nèi)部采用碳纖維支撐結(jié)構(gòu)，最小化熱靈敏度，保證長時間運行的穩(wěn)定性。主機(jī)置于定位支架上，可以簡單、快速、精確定位主機(jī)相對于擴(kuò)束器的位置。能夠輕松將AccuFiz主機(jī)取下來當(dāng)做100mm口徑干涉儀使用，進(jìn)行獨立的平面與球面測量。
分體式設(shè)計，使得干涉儀方便移動。具有如下特點：
- 高傳函低噪聲主機(jī)，清晰看到樣品中高頻特征
- 碳纖維支撐結(jié)構(gòu)擴(kuò)束器，最小化熱靈敏度
- 短相干光源擴(kuò)展模塊，直接測量平行平面面形
常規(guī)屬性
- 采集模式：機(jī)械相移，載波動態(tài)相
- 出光口徑：300mm，或450mm，或600mm
- 工作波段：，可選1053nm, 1064nm
- 主機(jī)：AccuFiz-E100S或AccuFiz-H100S
相機(jī)像素：1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels， 12bit
系統(tǒng)性能
- 機(jī)械相移測量重復(fù)性 RMS
- 系統(tǒng)長期穩(wěn)定性
配置選項
- Tip/Tilt Mount
光學(xué)口徑：300mm，或450mm，或600mm
Tip/Tilt：±3o
旋轉(zhuǎn)：360o連續(xù)懸掛式
- Phase-Shlfting Tip/Tilt Mount
光學(xué)口徑：300mm，或450mm，或600mm
旋轉(zhuǎn)：360o連續(xù)懸掛式
相移器：與干涉儀主機(jī)通過以太口相連，相移精度與4”口徑無差別
- 參考鏡和反射鏡
裝夾：封裝在兩維支架內(nèi)或者吊索安裝在結(jié)構(gòu)件中
波前精度：λ/20或λ/10
參考平面鏡鍍膜：4%或20% (standard is uncoated both sides, attenuation coated has reflectance coatings and uncoated on the back)
反射鏡鍍膜：4% (uncoated one side, fine ground back side)
