產(chǎn)品介紹

NanoCam HD采用相移干涉技術(shù)（PSI），精度可達(dá)；沿用4D技術(shù)公司的相位相關(guān)探測(cè)器的瞬時(shí)相移技術(shù)，可在振動(dòng)環(huán)境下測(cè)量大口徑光學(xué)元件表面粗糙度。

NanoCam HD克服了傳統(tǒng)粗糙度儀速度慢、使用復(fù)雜的缺點(diǎn)，其便攜和抗振動(dòng)的特性使NanoCam 在多種復(fù)雜工作場(chǎng)景——生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)、龍門(mén)機(jī)器人、拋光設(shè)備旁、放置在大口徑光學(xué)元件表面，都能進(jìn)行高精度測(cè)量；可掛在機(jī)械手上對(duì)被測(cè)元件進(jìn)行任意方位的測(cè)量。

NanoCam HD能克服一般光學(xué)輪廓儀受樣品反射率的制約，可以對(duì)高反或低反樣品進(jìn)行測(cè)量。

常規(guī)屬性

系統(tǒng)描述：對(duì)振動(dòng)不敏感的動(dòng)態(tài)表面輪廓儀

采集模式：采用相位相關(guān)探測(cè)器的瞬時(shí)相移式

核心技術(shù)：相移干涉技術(shù)（PSI）

光源：460nm LED

相機(jī)像素：, 12-bit

外形尺寸：24 cm × 24 cm × 8 cm

重量： kg

系統(tǒng)性能

最小曝光時(shí)間：
垂直測(cè)量范圍：115nm step

RMS重復(fù)性：
RMS精度：

配置選項(xiàng)

物鏡 ：可選，2X，5X，10X，20X，50X（相見(jiàn)列表）

三腳架：可選操縱桿控制的三腳架，帶傾斜/俯仰/垂直調(diào)節(jié)

校準(zhǔn)鏡：超光滑參考鏡

加長(zhǎng)線纜：5m或10m

長(zhǎng)工作距離干涉物鏡