簡介

Scia Finish 1500離子束拋光機用于高精度光學元件的表面拋光。該IBF系統(tǒng)采用高去除率、高穩(wěn)定離子束源，配備高效真空系統(tǒng)，可用于24/7運行的批量生產(chǎn)。

常規(guī)屬性

- 采用聚焦離子束轟擊樣品表面，通過控制離子束焦斑在局部區(qū)域的駐留時間，來實現(xiàn)表面材料的定量去除，從而實現(xiàn)拋光或表面修整
- 適合于大口徑光學元件長期穩(wěn)定拋光
- 專用高效離子源保證大面積的高精度拋光
- 加工效率高
- 真空倉滑動門設(shè)計，可輕松裝載大型基板
- 針對批量生產(chǎn)的設(shè)計，真空恢復用時短

系統(tǒng)性能