低溫泵又叫是冷凝泵，是利用低溫表面冷凝氣體的一種真空泵。使用低溫泵可以獲得清潔真空，而且這些真空抽氣速率大、壓力低，所以低溫泵被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)等各個(gè)領(lǐng)域。那么對(duì)于河北低溫泵你們了解多少呢？

1.低溫泵口熱負(fù)荷的影響：低溫泵入口障板的熱負(fù)荷是有要求的，一般是按300K氣體計(jì)算，如果入口溫度過高，應(yīng)立即將熱源屏蔽。否則可能使入口障板溫度超過100K，對(duì)吸附陣的溫度以及捕獲氣體都是有影響的。

2.低溫泵突然斷電對(duì)運(yùn)行的影響：低溫泵連續(xù)運(yùn)行中,活性炭吸附氦已飽和。如果吸附陣回溫，氦氣將釋放出來，通常是因?yàn)槎虝r(shí)間停電。水蒸氣也將從二級(jí)冷屏及障板上解吸出來，被吸附陣吸附，如果有這種情況，低溫泵需要進(jìn)行再生處理。

3.低溫系配置壓機(jī)的氦氣純度：氖是常見雜質(zhì)，可能凝在一成二級(jí)冷頭腔內(nèi)的低溫表面,導(dǎo)致密封件的磨損，所以一般氦壓機(jī)需要充以高純氬，氦壓機(jī)檢修時(shí)要特別注意充氦方法、不能帶入空氣,否則會(huì)使管路堵塞。

4.油霧對(duì)低溫泵的影響：使用低溫泵時(shí)，若真空室中有油霧氣源，會(huì)導(dǎo)致吸附陣中的活性炭受污染，使其失去抽氣能力。特別需要注意的是，在低溫泵再生時(shí)，也同樣需要防止油污染活性炭。

5.抽除有危險(xiǎn)的氣體：低溫泵捕獲之后，再生時(shí)釋放出來，危及環(huán)境及人身安 全，所以低溫泵不宜用于抽除危險(xiǎn)性氣體。

6.低溫系上的安 全閥：低溫泵再生時(shí)，捕獲氣體如果瞬間釋放出來，主要是由于溫度升高，這樣就造成低溫泵腔體內(nèi)壓力升高，泵的安 全會(huì)受到嚴(yán)重威脅，為此，低溫泵要安裝安 全閥，以便超壓時(shí)放氣。安 全閥需要定期檢査，大型真空系統(tǒng)，低溫泵有時(shí)安裝高度較高,操作人員不易操作,更需要注意安 全閥的可靠性,否則會(huì)造成大事故。

以上是小編整理的關(guān)于低溫泵的知識(shí)，希望對(duì)大家能有所幫助，我司專業(yè)從事低溫泵生產(chǎn)銷售等業(yè)務(wù)，歡迎各位新老客戶。