目前國際針對工業(yè)有機廢氣的處理方法主要有：物理法、化學法、生物法，包括吸附、直接燃燒、催化燃燒、化學氧化、生物濾池等處理手段。而現(xiàn)階段，我國針對有機廢氣處理工藝主要有：隔離法、燃燒法、吸收法、冷凝法、等離子低溫催化氧化法、吸附法等。
1、廢氣處理隔離法
通過特種過濾材料，置換廢氣外排過程，經(jīng)機械隔離，從而達到廢氣治理效果。
優(yōu)點：對霧狀膠煙治理效率高，無技術(shù)要求，操作簡單。
缺點：不能有效去除有機物，風阻大。
2、廢氣處理燃燒法
利用加熱高溫的方法，將有機廢氣直接燃燒處理，以達到廢氣凈化的目的。
優(yōu)點：凈化效率高，可達95%以上。
缺點：需要大量熱能，需要消耗大量能源，也易在高溫下生成NOX等造成二次污染。
3、廢氣處理吸收法
利用吸收液與廢氣相互接觸，使廢氣中的有害物質(zhì)溶入吸收液中，從而使廢氣得以凈化。吸收液另行處理。
優(yōu)點：投資小，運行費用低，操作簡單。
缺點：處理效率低，不穩(wěn)定，凈化效率不高，約為50%，難於達到相關(guān)環(huán)保要求，適合低濃度有機廢氣，有二次污染。
4、廢氣處理冷凝法
通過冷凝降溫，當溫度低于有害物質(zhì)的凝結(jié)點時，氣態(tài)的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為液態(tài)，從空氣中分離出來，從而凈化。
優(yōu)點：運行穩(wěn)定，凈化效率高。
缺點：投資較大，對環(huán)境及操作人員要求較高，且能耗過大，運行費用高。
5、等離低溫催化氧化法
等離子體是物質(zhì)存在的除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種狀態(tài)，具有宏觀度內(nèi)的電中性與高導電性。等離子體中含有大量的活性電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撣的結(jié)果，產(chǎn)生大量的強氧化性自由基O、OH、HO2 和氧化性很強的O3;有機物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子健斷裂而形成小碎片基團或原子;O、OH、HO2、O3等與激發(fā)原子、有機物分子、基團、自由基等反應，最終使有機物分子氧化降解為CO、CO2和HO2。
優(yōu)點：廣泛適用性，適合于處理低濃度(〈1～1000ppm〉)、劇毒劇臭的有害氣體，彌補了其他技術(shù)無法處理的空白。以及操作簡單。
缺點：單獨的低溫等離子體技術(shù)在處理有害氣體時還是有其欠缺的地方，如不能地把有害氣體轉(zhuǎn)化為無害氣體，副產(chǎn)物較多;且在氧等離子體下產(chǎn)生大量的臭氧;能耗較高;脫除效率較低等。
