一、熱導式氣體傳感器 MTCS2601 描述:
MTCS2601傳感器由一個帶有四個 MEMS 技術實現(xiàn)的 Ni-Pt 電阻器的微機械熱導率傳感器構成。該傳感器安裝在微型 SMD 封 裝中,卷帶或托盤包裝供貨。這款 MEMS TC 傳感器與簡單的低功耗 CMOS 標準集成電路相結合,非常適用于要求超低功耗、 使用壽命長且無需維護的 OEM 氣體探測器應用。該設備可測量空氣中二或三種氣體的混合物或準二元混合物中的氣體濃度,例 如空氣中的二氧化碳、氬氣或氟利昂等熱導率較低的氣體,或諸如氫氣,氦氣或甲烷等具有較高熱導率的氣體。
二、 熱導式氣體傳感器 MTCS2601特點:
MEMS 物理傳感原理穩(wěn)定可靠,無化學反應,基于熱導率變化工作。
量程為 100 ppm 至 100%,具體取決于應用和氣體的熱導率。
無化學反應,表示濃度的線性信號無磁滯
在同一硅芯片上將補償與加熱電阻匹配出色的溫度補償。
傳感器體積小至< 0.1 cm3
物理電阻傳感原理工作,傳感器耐用且平均故障間隔時間(MTBF)長,可承受高強度沖擊 (>1000 G)
基于 MEMS 的硅傳感器集成電阻大(如 250 歐姆)而加熱質(zhì)量小,因此傳感器的工作功耗極低(<8mW)。
響應速度快,電子帶寬大,響應時間短至< 50 ms
三、 熱導式氣體傳感器 MTCS2601應用:
- 通過測量二元混合物或擬二元氣體混合物(空氣中的 H2、He 或 CO2) 熱導率來確定氣體濃度
- 監(jiān)控天然氣中的 CH4濃度,用于燃氣發(fā)動機控制
- 檢測制冷劑氣體,例如氟利昂(R-11、R-12、R-21、R-22)、CFC 或 CF3CH2F 氟乙烷(R-134 或 R-404),以監(jiān)控冷卻系統(tǒng)泄漏情況
- 空氣中的氫氣(0 ~5% 或以上)、氦氣(0 – 5000 ppm) 或氙氣測量
- 安保(火警、CO2監(jiān)控、爆炸性氣體監(jiān)控)
- 工序控制、園藝、食品儲存、發(fā)酵過程控制
- 作為微型電阻規(guī)用于 Micro vacuum device as miniature Pirani gauge
- 基于熱導率、空氣中使用的微型濕度傳感器
- 安保目的的 CO2 安全監(jiān)控 (0-4%) 、火警或室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)控