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日本理學全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310-華普通用

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳華普通用科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號TXRF-V310
  • 所  在  地
  • 廠商性質代理商
  • 更新時間2023/8/5 14:23:39
  • 訪問次數(shù)200
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    深圳華普通用科技有限公司(簡稱華普通用)是一家專業(yè)從事儀器儀表代理的綜合性服務公司。德國斯派克:www.hpge.com.cn公司前身于2004年成立。目前已經(jīng)成為國內較大的儀器經(jīng)銷商,系統(tǒng)集成商和綜合服務商之一。
    公司業(yè)務分為電子測試儀器部,化學分析儀器部,材料分析儀器部,電磁兼容測試儀器部以及芯片燒錄設備部。華普通用與美國力科(LECORY)、美國吉時利(KEITHLEY)、美國科學儀器公司STI、美國SerialTek、德國斯派克(SPECTRO)、美國SANBlaze、瑞士特測(TESEQ) 、中國臺灣崇貿(SystemGeneral) 、以色列HERMON Labs、西班牙ALBEDOTelecom SL、日本TAKAYA等數(shù)十家*儀器制造商在中國區(qū)有著廣泛的合作。 *致力于為電子信息、教育科研、電力石化、醫(yī)藥衛(wèi)生、金屬塑膠等領域提供分析測試儀器和系統(tǒng)集成。2013年營業(yè)額超過1億元人民幣。
    公司總部位于深圳市南山區(qū)科技園,在北京、上海、香港、廣州、蘇州、廈門等地設有分支機構,員工人數(shù)50多人。通過與分銷伙伴的合作,擁有覆蓋全國的服務網(wǎng)絡。華普通用擁有一批技術型的銷售工程師和專業(yè)的售后隊伍,在多年的發(fā)展中積累了大量的案例和經(jīng)驗,能夠給客戶提供迅速、完善、專業(yè)的服務。長風破浪會有時,直掛云帆濟滄海,華普通用將通過不懈的努力,繼續(xù)專注于為客戶提供分析測試解決方案,和客戶一起成功!

光譜儀
日本理學全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310通過 VPD-TXRF 進行晶圓表面污染測量超痕量元素表面污染的測量
日本理學全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310-華普通用 產品信息

全反射 X 射線熒光光譜儀
全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310
分析可以測量所有晶圓廠工藝中的污染,包括清潔、光刻、蝕刻、灰化、薄膜等。全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310 可以使用單目標 3 光束 X 射線系統(tǒng)和無液氮探測器系統(tǒng)測量從鈉到烏的元素。

全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310包括理學的XYθ樣品臺系統(tǒng),真空晶圓機器人轉移系統(tǒng)和新的用戶友好型Windows軟件。所有這些都有助于提高吞吐量、更高的準確度和精度,以及簡化的日常操作。

集成的 VPD 功能可實現(xiàn)一個晶圓的自動 VPD 制備,同時在另一個晶圓上進行 TXRF 測量,以獲得的靈敏度和高吞吐量。全反射 X 射線熒光光譜儀TXRF-V310消除了 ICP-MS 可能出現(xiàn)的操作員可變性,并且 VPD-TXRF 可以通過工廠自動化控制??蓮倪x定區(qū)域(包括斜面區(qū)域)進行 VPD 恢復。

可選的掃描TXRF軟件可以繪制晶圓表面上的污染物分布圖,以識別可以更高精度自動重新測量的“熱點”。

可選的 ZEE-TXRF 功能克服了原始 TXRF 設計歷 15 mm 邊緣排除的問題,使測量能夠以零邊緣排除進行。

可選的 BAC-TXRF 功能可實現(xiàn) 300 mm 晶圓的全自動正面和背面 TXRF 測量,并進行非接觸式晶圓翻轉。

特征
  • 接受 300 mm、200 mm 和 150 mm 晶圓

  • 多種分析元素(Na~U)

  • 輕元素靈敏度(針對鈉、鎂和鋁)

  • 單靶3光束法和XYθ載物臺是理學的,可在整個晶圓表面進行高精度的超痕量分析

  • 集成的全自動 VPD 制備,可實現(xiàn)靈敏度

  • 1E7 原子/cm2 檢測限

  • 從缺陷檢測工具導入測量坐標以進行后續(xù)分析

  • 多任務處理:同時進行 VPD 和 TXRF 操作,實現(xiàn)吞吐量

規(guī)格
產品名稱TXRF-V310
技術全反射 X 射線熒光 (TXRF) 帶氣相分解 (VPD)
效益超痕量元素表面污染的測量;1E7 原子/cm2 檢測限
科技自動 VPD 制備、三光束激發(fā)和自動光學對準
核心屬性自動 VPD、旋轉陽極 X 射線源、XYθ 樣品臺、無液氮檢測器,可接受 300 mm、200 mm 和 150 mm 晶圓
核心選項用于全工廠自動化的 GEM-300 自動化軟件,SP-TXRF 功能可實現(xiàn)整個晶圓表面的映射,ZEE-TXRF 功能可實現(xiàn)零邊緣排除測量,BAC-TXRF 功能可實現(xiàn)全自動正面和背面測量
計算機內置電腦,微軟視窗操作系統(tǒng)®
核心尺寸1200(寬)x 2050(高)x 2990(深)毫米
質量1650公斤(核心單元)
電源要求3?, 200 VAC 50/60 Hz, 125 A


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