SU-70電子顯微鏡是一種新概念掃描電子顯微鏡,它采用了日立經(jīng)過實(shí)地驗(yàn)證的 "semi-in-lens"超高分辨率技術(shù)以及肖特基熱場發(fā)射電子槍技術(shù)。除了具有超高分辨率(1.0 nm/15 kV,1.6 nm*/1 kV)的特點(diǎn)外,它還借助聲名遠(yuǎn)播的SuperExB功能可觀察減輕荷電圖像,成分構(gòu)成對比圖像,超低加速電壓圖像*。肖特基場發(fā)射電子槍的探針電流為100 nA,可進(jìn)行各種各樣的分析操作(X 射線能譜儀*, X射線波譜儀*,電子背散射衍射系統(tǒng)*等)。
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