產(chǎn)品名稱：小巧型勻膠機

產(chǎn)品型號：EZ4-S-PP

1. EZ4-S-PP小巧型勻膠機簡介：

EZ4-S-PP勻膠機適用于給小碎片至4英寸晶圓大小的基底旋涂光刻膠及其他試劑，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。EZ4-S-PP勻膠機設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4-S-PP采用耐腐蝕PP外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。

2. EZ4-S-PP小巧型勻膠機性能參數(shù)：

(1) 轉(zhuǎn)速范圍：100-9999rpm

(2) 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

(3) 加速度可調(diào)范圍：100-9999rpm/s

(4) 單步步長：3000s

(5) 時間分辨率：1s

(6) 寬電壓適用：AC100~230V輸入，中英文可選

(7) 單步或多步運行可選，最多可設(shè)置5組5步程序

(8) 標配10mm、25mm、55mm三種規(guī)格真空載物盤

(9) 外形尺寸：210mm（W）*265mm（D）*213mm（H）

3. EZ4-S-PP小巧型勻膠機特性優(yōu)點：

(1) 外形小巧，適合手套箱內(nèi)操作

(2) 耐腐蝕透明蓋，恒定扭矩定位鉸鏈

(3) 一體開模內(nèi)腔，易拆卸清洗，方便更換

(4) 液晶文本顯示，彩色面膜按鍵，簡單易用

(5) 加減速度可控可調(diào)，可設(shè)置多步程序運行控制

(6) 直流無刷電機，推薦旋涂尺寸：4寸圓形底物

(7) 耐腐蝕PP外殼可選（EZ4-S-PP），鋁合金外殼可選（EZ4-S）