現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm，Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm，觀察性能與現(xiàn)有機(jī)型相比提高了20％左右。
此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。
- *1
- Regulus8240/8230/8220
特色
- 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
- 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
- 與現(xiàn)有機(jī)型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空樣品倉
- 運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2
極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V
超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV
- *2
- Regulus8240/8230/8220
規(guī)格項(xiàng)目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240 二次電子分辨率 0.8 nm
（加速電壓15 kV）
1.1 nm
（著陸電壓1 kV）*30.7 nm（加速電壓 15 kV）
0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*3著陸電壓 0.1～2 kV 0.01～20 kV 放大倍率 20～1,000,000倍*4 20～2,000,000倍*4 樣品臺(tái) 樣品臺(tái)控制 3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)） 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 移動(dòng)范圍 X 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～110 mm Y 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～80 mm R 360° T -5～70° Z 1.5～30 mm 1.5～40 mm 再現(xiàn)性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm - *3
- 減速模式下觀察
- *4
- 以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率
