PMF干式螺桿真空泵系列介紹:
半導體產品制造過程中所需的真空系統(tǒng),需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能,因此油封式機械泵無法滿足半導體產業(yè)的需要。受半導體產業(yè)的驅動,干式真空泵于上世紀80年代出現(xiàn),受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進步,干式真空泵的產品類型不斷增加,性能、控制集成度等指標參數(shù)顯著改善。截至目前,發(fā)達國家的半導體相關產業(yè)已全部使用干式真空泵,我國近年來也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢,國內的半導體行業(yè)已基本使用干式真空泵。
特點:
較低的電能消耗。 節(jié)能模式的應用降低整體功耗。 體積小,重量輕。 節(jié)省了安裝空間 半導體產品制造過程中所需的真空系統(tǒng),需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能,因此油封式機械泵無法滿足半導體產業(yè)的需要。受半導體產業(yè)的驅動,干式真空泵于上世紀80年代出現(xiàn),受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進步,干式真空泵的產品類型不斷增加,性能、控制集成度等指標參數(shù)顯著改善。截至目前,發(fā)達國家的半導體相關產業(yè)已全部使用干式真空泵,我國近年來也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢,國內的半導體行業(yè)已基本使用干式真空泵。