X軸

測(cè)量范圍:100mm或200mm

分辨率:0.05μm

檢測(cè)方法:反射型線性編碼器

驅(qū)動(dòng)速度:80mm/s和手動(dòng)

測(cè)量速度:0.02-5mm/s

移動(dòng)方向:向前／向后

直線度:0.8μm/100mm,2μm/200mm

*當(dāng)X軸在水平方向上指示精度:±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)

(20°C時(shí))±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)

±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)

±(0.8+0.02L)μm(CV-4100S8,H8,W8)

*L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)

傾斜范圍:±45°

Z2軸(立柱)

垂直行程:300mm或500mm

分辨率:1μm

檢測(cè)方法:ABSOLUTE線性編碼器

驅(qū)動(dòng)速度:0-20mm/s和手動(dòng)

Z1軸(檢測(cè)器)

測(cè)量范圍:±25mm

分辨率:0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100)

檢測(cè)方法:線性編碼器(CV-3100),

激光全息測(cè)微計(jì)(CV-4100)

指示精度:±(2+I4HI/100)μm(CV-3100)

(20°C時(shí))±(0.8+I2HI/100)μm(CV-4100)

*H為水平位置上的測(cè)量高度(mm)

測(cè)針上／下運(yùn)作:弧形運(yùn)動(dòng)

測(cè)針方向:向上／向下

測(cè)力:30mN

跟蹤角度:向上：77°、向下：87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)

測(cè)針針尖半徑:25μm、硬質(zhì)合金針尖

基座尺寸(WxH):750x600mm或1000x450mm

基座材料:花崗巖

重量

主機(jī):140kg(S4),150kg(H4),155kg(W4),145kg(S8),155kg(H8),160kg(W8)

　控制裝置:14kg

　遙控箱:0.9kg

電源:100–240VAC±10%,50/60Hz

能耗:400W(限主機(jī))

批量校準(zhǔn)功能

?使用校準(zhǔn)規(guī)，可同時(shí)進(jìn)行設(shè)備的Z軸增益，對(duì)稱及針尖半徑的校準(zhǔn)。

*產(chǎn)品信息僅供參考，型號(hào)和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時(shí)更改