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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

DM-200真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地合肥市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/9/9 11:45:42
  • 訪問次數(shù)281
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,隸屬百思集團(tuán),其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術(shù)有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術(shù)有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬平米貝意克智能裝備產(chǎn)業(yè)園。設(shè)有貝意克工程設(shè)計(jì)中心,貝意克工程技術(shù)中心,貝意克聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)公共服務(wù)平臺(tái)。貝意克主要從事實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn),主營(yíng)各類型箱式爐、管式爐、CVD、PECVD、 ALD、 PVD磁控濺射、真空鍍膜、薄膜制備、納米材料制備裝備、各種高精度真空箱以及各類非標(biāo)定制,產(chǎn)品領(lǐng)域涉及科研、光電產(chǎn)業(yè)化、半導(dǎo)體、等高科技產(chǎn)業(yè)。公司致力于提供專業(yè)的設(shè)備、技術(shù)和服務(wù),助力新材料研發(fā)。
用途:本設(shè)備是我公司研發(fā)用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機(jī)物薄膜和金屬薄膜
DM-200真空蒸發(fā)鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

用途:

本設(shè)備是我公司研發(fā)用于真空蒸發(fā)鍍光學(xué)薄膜、有機(jī)物薄膜和金屬薄膜。特別適合于高科技企業(yè)、科研單位和高校用于膜層研究和膜系開發(fā)。

主要技術(shù)參數(shù):

1. 真空室:∅220mm*H380mm(標(biāo)配380mm高,若需要LIFT-OFF工藝腔體需加工至500);2. 可鍍工件直徑:60*60mm,配抽拉式樣品臺(tái),樣品可旋轉(zhuǎn);另配備銅基板樣品臺(tái);

3. 極限真空度:優(yōu)于5*10-5Pa(機(jī)械泵系統(tǒng))、8*10-5Pa(分子泵系統(tǒng));4. 抽氣時(shí)間:大氣壓~6*10-4Pa小于300min;5. 蒸發(fā):電阻式蒸發(fā)電極(2對(duì))   功率:2KW;配備1套數(shù)顯蒸發(fā)電源,可對(duì)兩組蒸發(fā)源進(jìn)行切換使用。

6. 開啟方式:正面開門結(jié)構(gòu),便于換絲及裝料;7. 真空系統(tǒng):機(jī)械泵真空系統(tǒng)(機(jī)械泵+分子泵系統(tǒng)選配);

8. 水冷循環(huán)系統(tǒng) 0.5P;

 

設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹:

該設(shè)備由真空室、真空機(jī)組和電氣系統(tǒng)組成

  1. 真空室

圓形形腔體,側(cè)部抽氣,正面開門。不銹鋼材質(zhì),配φ100觀察窗(含防污擋板)、預(yù)抽接口、充氣接口;內(nèi)部有底板、蒸發(fā)源(兩組蒸發(fā)源相互隔離避免交叉污染),蒸發(fā)源上配有手動(dòng)擋板裝置等;

  1. 真空系統(tǒng)及進(jìn)氣

采用110L分子泵+4L旋片式機(jī)械泵。采用真空波紋管連接,配有復(fù)合式數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x表。

可根據(jù)需要選配流量計(jì),用于進(jìn)氣流量精確控制。

  1. 電氣系統(tǒng)

電氣系統(tǒng)包括真空機(jī)組控制、蒸發(fā)與烘烤控制、真空測(cè)量控制等部分組成。有安全互鎖機(jī)構(gòu),有效防止誤操作發(fā)生。系統(tǒng)配有1套蒸發(fā)電源,通過切換選擇上電。

  1. 膜厚測(cè)量裝置:采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套(選配)。

蒸發(fā)示意圖

 

氣路原理圖

關(guān)鍵詞:流量計(jì)
15700106413
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