GF135 系列金屬密封熱質量流量控制器
半導體產(chǎn)品
金屬密封熱
使用 GF135 診斷式壓力變化補償型 (PTI) 質量流量控制器確保關鍵流量過程的準確控制并使通量。“智能”質量流量控制器，該產(chǎn)品執(zhí)行累積衰減比流量測定，無需停止過程氣體輸送。半導體制造商可利用該產(chǎn)品實時驗證過程氣體流量準確性、檢查泄漏情況并監(jiān)視傳感器穩(wěn)定性同時無需將流量控制器從氣路上拆除。
GF135 PTI MFC 將全金屬接液流路、穩(wěn)定功能和過程氣體精度相結合，能夠改變各種淀積工藝的生產(chǎn)效率和吞吐率。
特點
- 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
- 穩(wěn)定時間短：<300 ms – <400 ms
- 滿量程流速：3 sccm 至 5 slm
- 4µ 英寸 Ra 表面處理
- 借助衰減率 (ROD) 技術實現(xiàn)的嵌入式實時流量故障檢測與預測功能
- 加強過程氣體測量精度 – 可提升三倍 – 經(jīng)氣體實測優(yōu)化的高級氣體建模功能
- 壓力變化補償 (PTI) 技術
- 高清晰度的可旋轉電子 LCD 顯示屏能夠本地顯示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡地址
- DeviceNet™、RS-485 和模擬接口
優(yōu)勢
- 實時流量故障檢測功能可快速地根據(jù)流量偏差進行調節(jié)并能夠提高晶圓成品率
- 傳感器穩(wěn)定性跟蹤功能可通過預防性維護延長系統(tǒng)運行時間
- 閥泄漏跟蹤功能有助于降低”晶圓效應”
- 提高過程氣體測量精度，使其滿足挑戰(zhàn)性的 10 nm 級過程氣體化學控制要求
- 產(chǎn)品擁有穩(wěn)定速度，可減少非生產(chǎn)性流量穩(wěn)定步驟，支持 3D 設備加工
- 提高壓力變化補償能力并實現(xiàn)高級過程氣體控制，從而強化蝕刻和沉積控制
- 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器擁有長期穩(wěn)定性，可確保產(chǎn)率和通量
- 支持表面安裝和 VCR MFC 的插入式更換，便于對現(xiàn)有系統(tǒng)中的關鍵氣路進行升級
應用
- 半導體高級蝕刻工具
