GF125 / GF126系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表
MFC | 半導體產(chǎn)品
金屬密封熱
高純和超高純氣體質(zhì)量流量控制器與流量計
GF125 系列產(chǎn)品是多變量壓力變化補償型 (PTI) 金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表，作為將 PTI 質(zhì)量流量控制技術引入市場的 GF125 系列產(chǎn)品降低了壓力和溫度波動導致的過程氣體流量變化。一臺采用標準 MultiFlo™ 技術的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。
結果：降低了氣體顯示屏尺寸和成本，這得益于省去了壓力調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和相關硬件的使用并輔以 PTI 性能以提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。
特點
- 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%ar
- 穩(wěn)定時間短：300 ms – <700 ms
- 滿量程流速達 300 slpm
- – 4µ 英寸 Ra 表面處理
- 符合 SEMI F20 標準的接液材料
- 采用高速 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器
- 可進行快速反應的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測試表明產(chǎn)品經(jīng)七百萬次循環(huán)
- MultiFlo™ 技術靈活性 — 一臺設備經(jīng)編程設定后即可滿足數(shù)千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
- 本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題
- DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)勢
- GF125 系列產(chǎn)品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器技術與能夠進行快速反應的無隔膜閥組件相結合，可將響應速度和穩(wěn)定速度較之其他質(zhì)量流量控制器提高 3 倍。
- 經(jīng)優(yōu)化的接液流路，可提升干燥效果
- MultiFloTM 技術可實現(xiàn) MFC 流量測定量程的重新設定，通常是按 3:1 下調(diào)并且不影響精度，量程比或內(nèi)漏率
- 全面的氣體數(shù)據(jù)庫為您提供廣泛的氣體保護信息
- 壓力變化補償 (PTI) 功能能夠克服傳統(tǒng) MFC 的限制（受進氣壓力波動影響明顯）。產(chǎn)品效果表明其性能穩(wěn)定并且可達到預期精度。
- 便捷的用戶顯示屏和獨立的診斷/維護端口有助于設備安裝、監(jiān)測和故障排除
關鍵應用
- 半導體
- MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）
- 要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應用
- 便捷的維護端口
- 輕松進行診斷和故障排除
- 不影響工具通信
用戶界面
- 輕松安裝、啟動和操作
機械耦合閥
- 耐腐蝕全金屬閥
- 采用無隔膜設計并且不受壓差影響
- 高速吹掃功能
- 測試表明產(chǎn)品經(jīng)四百萬次循環(huán)
壓力傳感器
- 不受輸送壓力擾動或波動影響的穩(wěn)定流量控制
溫升傳感器
- 長期穩(wěn)定性（<+0.5% F.S/年）
- 提高了信噪比
- 高速吹掃功能
- 可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
溫度傳感器
- 可在全溫度范圍內(nèi)進行準確的流量和溫度測量
- 實時補償環(huán)境溫度波動，實現(xiàn)準確的氣體化學控制
