產品詳情
規(guī)格參數:
?旋涂基材6英寸或更小
?包括三個真空旋轉卡盤
?用于手套箱的占地面積小
?易于使用的觸摸屏界面
?可編程旋涂工藝
?耐用的設計以及耐化學腐蝕的材料
?耐化學腐蝕HDPE旋轉碗
?耐用的不銹鋼機身,具有耐化學腐蝕的透明旋轉蓋
?4.3”觸摸屏界面
?基板尺寸:從1厘米到6英寸晶圓
?轉速范圍:100-12000 RPM
?轉速分辨率:1RPM
?加速范圍:空載100-30000 RPM / s
?程序:10個旋轉程序,每個程序有10個步驟
?安全:真空聯(lián)鎖和旋轉蓋聯(lián)鎖
?尺寸:270(W)*387(D)*258(H)