掃描電子顯微鏡，半導(dǎo)體sem顯微鏡的作用：
由于半導(dǎo)體器件體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機械性能好. 因而適用的范閘極廣。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。
1.質(zhì)量監(jiān)控與工藝診斷
2. 器件分析
3.失效分析和可靠性研究
4.電子材料研制分析
5. 這對檢測和研制真空微電子二極管是極其有用的。
6.可控制中子輻射損傷和選用合適的退火工藝消除內(nèi)部缺陷，提高 NTD 硅單晶質(zhì)量。
7.半導(dǎo)體材料中的動力學(xué)現(xiàn)象
掃描電子顯微鏡，半導(dǎo)體sem顯微鏡的性能：
放大倍數(shù)：60000x /150000x
加速電壓：500V - 15kV
電子源:預(yù)對中鎢燈絲
聚光鏡:兩級電磁變焦聚光鏡
樣品臺:X-Y兩軸自動樣品臺
樣品臺移動范圍:30mm×30mm
標(biāo)準(zhǔn)配置：
背散射電子探測器
二次電極探測器
CCD光學(xué)導(dǎo)航
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公司坐落于中國上海，奉賢區(qū)柘林鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)。公司擁有多臺*的專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備，公司是一個專注多年熱處理設(shè)備、儀器設(shè)備的生產(chǎn)廠家，擁有高的技術(shù)人才，高素質(zhì)的工作團隊，豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗。主要業(yè)務(wù)項目有：半導(dǎo)體濕法設(shè)備， 硅片刻蝕機，清洗設(shè)備，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，無塵烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，真空烤箱，真空無氧固化烤箱，干燥烘箱，黑蒜設(shè)備，環(huán)境可靠性設(shè)備，電線電纜檢測儀器等設(shè)備，同時可根據(jù)客戶要求設(shè)計非標(biāo)類的產(chǎn)品。
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