多氣體,多量程,彈性體密封的100至300slm質(zhì)量流量控制器
G系列GE250A和GE300A質(zhì)量流量控制器是通用的,彈性體密封的MFC,適用于多種應用。GE250A的滿量程范圍為100到250 slm(相當于N 2)。GE300A的滿量程范圍為150到300 slm(相當于N 2)。利用的控制算法,對模擬I / O或數(shù)字I / O均可用,以快速,可重復地響應設定值。
· 流速從100到300 slm
· Viton,Buna,氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件
· 多種數(shù)字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA)I / O
· 標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0%
· 1-2秒建立時間