CPN-KW-100A型智能勻膠機(jī)
的智能化設(shè)計(jì)、高配置、高穩(wěn)定性機(jī)型。 PC 控制系統(tǒng),更好的可操控性可編程設(shè)計(jì)。 5 英吋人機(jī)界面,全中文操作系統(tǒng),更方便操作。 適合多種材料勻膠、制版工藝。 廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、 材料科學(xué)及新能源等領(lǐng)域。
主要構(gòu)造:
1、采用無刷伺服電機(jī),全閉環(huán)數(shù)字編碼器 測速機(jī)構(gòu),實(shí)測整個(gè)過程馬達(dá)速度。
2、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹 鋼、生銹,便于清洗。
3、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺底部 (以 利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
4、透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時(shí)完 全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味 的散發(fā)。
5、配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口, 由界面集中控制。 機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清 潔)
主要性能指標(biāo):
1、旋涂程序:用戶通過 PC 界面設(shè)置和存 儲工藝參數(shù),可存儲 15 組參數(shù),支持 多段速。
2、轉(zhuǎn)動速度:0-5,000rpm 旋涂加速度:0-5000rpm/sec 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1rpm
3、測速精度<0.2rpm 工藝時(shí)間設(shè)定: 09,999.9 sec/step 0.1 精度
4、可鍍膜尺寸 5mm-200mm(8〞) 旋涂不均勻性:< ±3% 支持基片厚度≤5mm
5、設(shè)備尺寸 15〞(380mm ) W × 11.4〞 (290mm ) D × 10〞 (260mm ) H 配置配置配置配置規(guī)格規(guī)格規(guī)格規(guī)格
6、勻膠腔室:內(nèi)徑 Ф260mm ,不銹鋼材 質(zhì)、可視透明上蓋
7、抽氣接口: Ф8mm 快速接頭,配 Ф8mm 透明抽氣管
8、樣片托:標(biāo)配 1 英寸一個(gè),2 英寸一個(gè)
9、真空泵:配 100L/min 無油真空泵一臺。
10、電源輸入: AC220V/240V 50Hz
11、整機(jī)功率:630W (真空泵 230W 主 機(jī) 400W)
12、機(jī)身重量:11Kg