400μm的X射線光斑,為有害元素的控制提供了高分辨率的掃描分析,適合小到IC集成塊單一引腳的分析。同時(shí)提供小光斑—10μm (可選配件)。
SDD檢測(cè)器極大地提高了分辨率和計(jì)數(shù)率,且無(wú)需使用液氮(LN2)
無(wú)需任何樣品制備或真空--樣品僅需要放置在樣品室中,即可在正常大氣壓力下分析。整合的軟件可控制樣品的移動(dòng),獲取數(shù)據(jù)分析(包括定性和定量分析,并生成成分組成圖像)。將樣品放在樣品祥中后,只需幾秒鐘,借助直觀的“point and click”選擇分析位置,即開(kāi)始抓取數(shù)據(jù)。
樣品觀察采用同軸幾何呈象,可消除視差,您可以相信,看到的樣品即是測(cè)量的位置。
儀器裝載了兩個(gè)X射線管,從而使用戶能夠簡(jiǎn)單地切換顯微和宏觀光束,可適用于一系列實(shí)驗(yàn)。這些光管傳遞的高強(qiáng)度光斑確保了的數(shù)據(jù)獲取時(shí)間。而光管的單毛細(xì)管設(shè)計(jì)非常適合高強(qiáng)度的元素成像,甚至對(duì)于不平整樣品同樣有效。
通過(guò)自動(dòng)采樣掃描很容易獲得XRF面掃描圖像,樣品下方的第二次信號(hào)檢測(cè)能同時(shí)收集X射線透射圖像。這項(xiàng)技術(shù)可提供額外的結(jié)構(gòu)信息,極有利于對(duì)興趣區(qū)域的定位,或了解樣本的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
一臺(tái)儀器進(jìn)行多種分析
有害元素的掃描分析
樣品位置的簡(jiǎn)單準(zhǔn)確控制
適用于微觀尺寸至宏觀尺寸的寬范圍樣品分析
XGT可解決各種分析問(wèn)題和困難