介紹
VEGA第四代鎢燈絲掃描電子顯微鏡,采用全新的 Essence™ 電鏡操控軟件系統(tǒng),集成了Essence™ EDS 分析平臺,將掃描形貌圖像與元素實時分析集成于同一個掃描窗口中,大大簡化了樣品表面形貌的采集及所含元素的數(shù)據(jù)分析工作,使得全新的第四代VEGA SEM成為在樣品檢測及研究方面的更高效的分析手段。
大視野光路(Wide Field Optics™)
n在2倍放大倍率視野下,無需導(dǎo)航相機即可輕松實現(xiàn)樣品導(dǎo)航。
n大視野無畸變的圖像實時觀測,可連續(xù)放大感興趣的區(qū)域,無需光學(xué)導(dǎo)航相機。
n與預(yù)傾斜樣品臺配合使用,對于需要傾斜分析的樣品,支持掃描傾斜校正,從而實現(xiàn)更精準的導(dǎo)航。
實時電子束追蹤技術(shù)(In Flight Beam Tracing™)
n無需更換光闌調(diào)節(jié)電子束強度,電子束強度連續(xù)可調(diào);
n一鍵即可達到理想分辨率的束流
n 中間鏡設(shè)計(Intermediate LensTM)
Single VacTM 模式
專為觀測不導(dǎo)電樣品和電子束敏感的樣品設(shè)計
nVEGA標配全新的 SingleVac™ 模式,出廠預(yù)設(shè)了 SingleVac™ 的真空值,無需表面導(dǎo)電涂層處理,可直接觀察不導(dǎo)電樣品
nUniVac™ 模式(選配)實現(xiàn)壓力的持續(xù)可調(diào),可變壓力可達 500 Pa
n真空緩沖節(jié)能單元(Vacuum Buffer)(選配),可顯著縮短機械泵的運行時間
n4Q BSE探測器可從不同角度采集信號
注:VEGA Compact不具備Single VacTM 模式
集成的Essence™ EDS 分析平臺
Essence™ 電鏡操控軟件的單一窗口中即可實現(xiàn)SEM成像和元素成分分析
n無需第三方附件及鏈接
n無需進行SEM與EDS圖像的位置,標尺及亮度對比度的調(diào)節(jié)
n無需二次采集圖像
nSEM 圖像沒有邊緣畸變
Essence™ 3D防碰撞模塊
n3D圖像直觀顯示探測器及樣品臺的位置
n快速搜索
n操作步驟撤銷,提升操作效率或防止誤操作
應(yīng)用案例