- 使用螺旋流加熱方法實現(xiàn)穩(wěn)定的低溫汽化
- 大流量汽化（增加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）
- 可汽化易熱解的液體源
MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器
MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。
特 征：
- 使用螺旋流加熱方法實現(xiàn)穩(wěn)定的低溫汽化
- 大流量汽化（增加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）
- 可汽化易熱解的液體源
Model MV-2000 Liquid Material All liquids except those corrosive to stainless steel(ex. HCl, HF) Setting Temperature By vaporization conditions(Control Valve : Max 140 ?C Vaporizer : Max 200 ?C) Leak Integrity ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) Internal leak standard ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He) Wetted parts SUS316L , PFA Temperature Sensor Thermocouple type K (CA) Pressure Resistance 1MPa (G) Standard Fitting Liquid inlet: 1/8 VCR type Male Carrier gas inlet: 1/4 VCR type Female Gas outlet: 1/2 VCR type Male Operating Temperature 15 - 50 ?C Option Air valve(Internal leak standard: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )
