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離子研磨儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱輔光精密儀器(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/11/14 13:14:33
  • 訪問次數(shù)335
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輔光精密儀器(上海)有限公司是的進(jìn)口精密儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器供應(yīng)商,是基于激光和成像等*光子技術(shù)分析測試儀器的規(guī)模性進(jìn)口商和供應(yīng)商和服務(wù)商。輔光儀器公司以精密光學(xué)技術(shù)為特色,以光學(xué)應(yīng)用為宗旨,以歐洲,北美和日本進(jìn)口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供分析測試儀器產(chǎn)品,促進(jìn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)品在中國的應(yīng)用和相關(guān)技術(shù)水平提升。21世紀(jì)是光學(xué)世紀(jì),激光,光譜,光學(xué)成像等光學(xué)技術(shù)極大地促進(jìn)生物光子學(xué),燃燒和流體力學(xué)光學(xué)診斷,光譜測試分析等學(xué)科發(fā)展和技術(shù)提升,成為前沿科學(xué)和*制造*的分析,計(jì)量,測試和實(shí)驗(yàn)工具手段,因此“光學(xué)”成為“精密”的代名詞,是精密測試分析的有力實(shí)驗(yàn)技術(shù)。輔光精密儀器公司就是這樣一個以光學(xué)為特色的進(jìn)口分析測試儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器高科技公司,擁有齊全的進(jìn)口精密光學(xué)儀器種類,數(shù)量龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體和快捷高效的國際貿(mào)易體系,是用戶信賴的進(jìn)口分析測試技術(shù)儀器和實(shí)驗(yàn)室儀器的旗艦型供服務(wù)商。
離子研磨儀是為SEM或TEM電鏡樣品制備設(shè)計(jì)的離子磨裝置,使用氬離子束蝕刻樣品的橫截面,避免了物理變形和結(jié)構(gòu)損傷,而不需要復(fù)雜的化學(xué)過程
離子研磨儀 產(chǎn)品信息

離子研磨儀是為SEM或TEM電鏡樣品制備設(shè)計(jì)的離子磨裝置,使用氬離子束蝕刻樣品的橫截面,避免了物理變形和結(jié)構(gòu)損傷,而不需要復(fù)雜的化學(xué)過程。
此外,該離子研磨儀通過處理從幾十微米到幾毫米的大面積,簡化了樣品的橫截面分析。

離子研磨儀特點(diǎn)

每小時700μm的高蝕刻速率(基于Si,8kV)
能夠保存/加載經(jīng)常使用的配方
具有自動執(zhí)行功能的分步配方
使用智能樣品架輕松裝載樣品
通過室內(nèi)攝像機(jī)實(shí)時觀察離子束狀態(tài)和蝕刻狀態(tài)
操作方便-直觀的GUI和簡單的觸摸屏
通過離子束自動開啟/關(guān)閉功能zui大限度地減少熱損傷
使用內(nèi)置數(shù)字顯微鏡與離子束快速方便地對準(zhǔn)樣品
帶噪音、振動、無油隔膜泵
為大面積平面蝕刻提供平面銑削功能

離子研磨儀研磨過程

離子研磨儀規(guī)格參數(shù)

離子加速電壓:2-8KV

研磨速度:700?/h (at 8kV on Si wafer)

樣品臺擺角:±35°

zui大容納樣品尺寸:16(W) × 10(D) × 9.5(H)mm

樣品運(yùn)動范圍:X axis : ±1.5mm,Y axis : ±2mm

平板掩模臺傾角:40° to 80°

平面研磨的樣品尺寸:?30 × 11.4(H)mm

控制:7英寸

數(shù)字顯微鏡放大倍率:5X,10x,20x,40x

氣體要求:氬氣(99.999%)

氣壓:0.1MPa

氣流控制:質(zhì)量流控制

尺寸:607(W) × 472(D) × 277.5(430.5)(H) mm

重量:36kg


離子研磨儀研磨結(jié)果


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