等離子清洗機(jī)(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機(jī)除了具有清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,在清洗過程中,小型等離子清洗機(jī)的輝光放電可以加強(qiáng)這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
這款等離子清洗機(jī)適合于實(shí)驗(yàn)室和小型生產(chǎn)。采用13.56Mhz的射頻電源,能夠用來匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規(guī)格可供選配,能夠滿足用戶的多樣化需求。
技術(shù)參數(shù):
主要部件 | 指標(biāo)名稱 | 參數(shù)指標(biāo) |
清洗倉體 | 清洗倉材質(zhì) | 不銹鋼 |
清洗倉尺寸 | 220mm x 220mm x300mm | |
射 頻 電 源 | 電源特性 | 該電源為全固態(tài)射頻電源,采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件,使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
電源優(yōu)勢 | ●可長時間正常運(yùn)行 ● 電源效率高、發(fā)熱少 | |
射頻功率 | 0~500W連續(xù)可調(diào) | |
信號頻率 | 13.56MHz ±0.005% | |
反射功率 | ≤100W | |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |
射頻接頭 | N型頭 | |
整機(jī)效率 | ≥75% | |
諧波分量 | ≤-50 dBc | |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |
氣 體 測 量 | 測量部件 | 浮子流量計(jì) |
氣體通道 | 兩通道 | |
A通道量程 | 10~100ml | |
B通道量程 | 16~160ml | |
真 空 獲 取 | 真空測量 | 數(shù)字真空計(jì)(電阻規(guī)) |
真空抽取 | 分子泵組 | |
抽氣速率 | 旋片泵1.1L/s 分子泵600L/s | |
極限真空 | 1.0E-4Pa | |
管道接口 | 進(jìn)氣口:φ8快擰接頭; 抽氣口KF40/KF16 | |
連接管道 | KF40真空波紋管 | |
電機(jī)功率 | 400W/1.5KW | |
其 它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz |
整機(jī)功率 | 1000W | |
使用溫度 | -10℃ -- 40℃ | |
工作真空 | ≤40Pa | |
整機(jī)尺寸 | 600mmX650mmX730mm | |
整機(jī)重量 | 80kg(不含泵組) |
應(yīng)用領(lǐng)域:
金屬:去除金屬表面的油脂,油污等有機(jī)物及氧化層;
汽車制造:用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理;
紡織品生產(chǎn):用于紡織品,濾網(wǎng)和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理;
生物醫(yī)療:培養(yǎng)皿提高活性,血管支架,注射器,導(dǎo)管和各種材料的親潤,交合涂覆前處理;
航空航天:絕緣材料,電子元件等表面涂覆前處理;
電子:線路板的清洗和蝕刻。膠片,PP等材料的無氧化和活化處理,改進(jìn)可焊性;
半導(dǎo)體行業(yè):晶圓加工及處理去除光刻膠,封裝前預(yù)處理;
LED:支架清洗封裝前預(yù)處理;
塑料橡膠:提高PS,PE,PTFE,TPE,POM,AS和PP等材料表面活性,使其利于粘接,印刷。
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