用于常規(guī)SEM掃描電鏡顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案
蔡司 EVO 系列
模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用
- 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的多功能解決方案
- 不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品
- 使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量
- 對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色
- 可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求
優(yōu)勢
便捷的可用性
SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控制。它簡單易學， 大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。
優(yōu)異的圖像質(zhì)量
EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學和電子顯微鏡圖像合并起來進行材料表征或零件檢驗，或者將 EVO 與蔡司光學顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。
專家用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM
專家用戶可以獲取以及設(shè)定高級的成像參數(shù)和分析功能。
SmartSEM: 為有經(jīng)驗用戶使用的控制界面
新手用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch
新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學者。
SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡化圖形用戶界面
EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
工作流程自動化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處
Shuttle & Find 將EVO、光學顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程
由于蔡司是各種類型顯微鏡和計量系統(tǒng)的優(yōu)秀供應(yīng)商， 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合，使其功能能夠發(fā)揮得更好。
通過使用Shuttle & Find（蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數(shù)碼）光學顯微鏡和 EVO 之間建立一個高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學顯微鏡的光學對比方法與同樣的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合， 獲得互補的數(shù)據(jù)， 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機理。
蔡司 SmartEDX
用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案
如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就會借助能譜儀（EDS）來采集元素化學成份的空間分布信息。
- 針對常規(guī)顯微分析應(yīng)用進行了優(yōu)化
- 工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面
- 的蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持
SmartEDX由蔡司提供支持，因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝、預(yù)防性維護、保修、診斷和維修、備件物流以及整個系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負責，為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。
EVO 系列
真空室尺寸選擇
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| 蔡司EVO 10 | 蔡司EVO 15 | 蔡司EVO 25 |
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選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個非常實惠的價格購買掃描電子顯微鏡的切入點。即使這個EVO真空室很小，它也不同于臺式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準備。
| EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念， 并擅長于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室， 并增加對不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式， 你將有一個多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的解決方案。 | EVO25 是工業(yè)的主力解決方案， 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件?？蛇x的 80 mm Z 軸行程載物臺可進一步擴展 EVO 25的功能， 它可以處理重量高達2公斤的樣品甚至傾斜。此外， 大的真空室將能夠容納多個分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。 | |
| 樣品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
| 樣品直徑 | 230 mm | 250 mm | 300 mm |
| 電動載物臺行程XYZ |
80 x 100 x 35 mm
| 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或 80) mm |
| 高真空模式 (HV) 導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析 | | | |
| 可變壓力模式 (VP) 不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析 | | | |
| 擴展壓力模式 (EP) 含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像 | | | |
蔡司 EVO 應(yīng)用案例
應(yīng)用實例
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質(zhì)量分析/質(zhì)量控制
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失效分析/金相分析
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清潔度檢查
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顆粒的形態(tài)和化學分析， 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標準
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非金屬夾雜物的分析
鋅磷酸鹽電涂層， 高真空模式下使用 SE 探測器成像
汽車座椅墊泡沫， 可變真空模式下使用BSE探測器成像，樣品未噴涂導(dǎo)電層
不銹鋼斷口表面， 高真空模式二次電子成像
電子半導(dǎo)體
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目視檢查電子元件、集成電路、MEMS 器件和太陽能電池
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銅絲表面及晶體結(jié)構(gòu)的研究
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金屬腐蝕研究
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斷面失效分析
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Wire bonding線腳檢查
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電容表面成像
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Wire bond檢查，在高真空或可變真空模式下用二次電子成像
鎳層腐蝕的二次電子成像
二次電子圖像觀察的在電子產(chǎn)品上生長的晶須
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鋼鐵和其它金屬
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對金屬樣品和夾雜物的結(jié)構(gòu)、化學和結(jié)晶學進行成像和分析
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相、顆粒、焊縫和失效分析
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鍍鋅低碳鋼的剖面， 使用 EVO 15 上的二次電子探測器進行成像
用F80砂礫鋁粉噴砂后的S355鋼表面
采用選擇性激光熔化的方法制備的鈦合金 (Ti-6Al-4V)的表面， 能夠看出充分熔化區(qū)域的旁邊有未融化的 Ti-6Al-4V 粒子和其他材料
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材料科學研究
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用于研究導(dǎo)電和不導(dǎo)電材料樣品的特征
自愈合礦物的擴展和裂紋架橋網(wǎng)絡(luò)， 形成了類似花狀的水鎂礦結(jié)構(gòu)，在12kV下使用二次電子探測器成像
電池組件中的石墨烯泡沫結(jié)構(gòu)， 在高真空下使用 二次電子探測器成像
航空航天復(fù)合材料，在10 kV可變壓力模式下使用 C2D 探測器成像
