產(chǎn)品簡介
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。
①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察
■ 樣品臺可搭載超大/超重樣品
· 通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
· 選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
· 具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
· 紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的安全性
■ 支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
· 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
· 覆蓋整個可觀察區(qū)域
· 支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■ 一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
■ 各種自動化功能
· 自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自動聚焦精度
· 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■ Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■ Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案
■ 可滿足多種觀察需求的探測器
· 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
· 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像
■ 配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件
■ SEM/EDS一體化功能*
■ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
■ 支持圖像測量軟件Image pro
產(chǎn)品參數(shù)
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
| 二級電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設(shè)定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續(xù) | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 可觀察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| 可觀察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機(jī)驅(qū)動 | 5軸電機(jī)驅(qū)動 | ||
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動光圈 | ||
| 檢測系統(tǒng) | 二級電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動光軸調(diào)整功能 | 自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動光軸調(diào)整（實(shí)時級別對齊） | |||
| 自動調(diào)整光束亮度 | |||
| 自動圖像調(diào)整功能 | 自動亮度和對比度控制（ABCC） | ||
| 自動對焦控制（AFC） | |||
| 自動標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF） | |||
| 自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS） | |||
| 自動光束對準(zhǔn)（ABA） | |||
| 自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、 | ||
