設備簡介：

　　小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點是設備體積小，結構簡單緊湊易于操作，也可整機放置于手套箱內(nèi)，對實驗室供電要求低;該系列設備主要部件采用進口或者國內(nèi)的配置，從而提高設備的穩(wěn)定性;另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設備的運行重復性及安全性方面得到更好地保障。

　　目前該設備配2組無機電阻蒸發(fā)源，一臺2000W直流蒸發(fā)電源，主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導電膜、有機薄膜等。

　　主要技術參數(shù)

　　1、腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接;

　　2、樣品臺尺寸：可拆卸式，尺寸Ф100mm，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào);

　　3、真空系統(tǒng)：機械泵(TRP-12,3L/s)+分子泵(Hipace80,67L/s)(可選);GDC-25b電磁擋板閥;

　　4、極限真空：8.0×10-5Pa;

　　5、真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 40min;

　　6、真空測量：復合全量程真空計測量范圍：105Pa～10-1Pa;

　　7、蒸發(fā)源：2組電阻蒸發(fā)源，2組間可切換，源間有防污板;

　　8、蒸發(fā)電源：直流蒸發(fā)電源1臺，0 W～2000W連續(xù)可調(diào)，供2組蒸發(fā)源切換使用;

　　9、控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能;

　　10、設備外形：L51.7cm×W53.6cm×H74.5cm機電一體化機架，預留1個KF40和一個CF35法蘭接口;

　　11、設備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制(一火一零一地);

　　12、冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設備相關需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水(可選)。

　　13、膜厚儀一臺。

　　設備主要優(yōu)勢

　　1、實用性：設備集成度高，結構緊湊，占地面積小，可以滿足客戶實驗室空間不足的苛刻條件;通過更換設備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)一機多用;

　　2、方便性：設備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設備使用方便又保證了設備的整潔性;

　　3、高性價比：設備主要零部件采用進口或國內(nèi)品牌，以國產(chǎn)設備的價格擁有進口設備的配置，從而保證了設備的質(zhì)量及性能;

　　4、安全性：獨立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)在傳統(tǒng)操作系統(tǒng)的基礎上新具備了漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護提示等功能，保證了設備的使用安全性能;

　　5、靈活性：設備可整機(除機械泵外)放置于手套箱內(nèi)，也可單獨放在實驗桌上，省去與手套箱對接接口等問題，靈活方便。