JJ X-Ray 超高真空狹縫 WHITE BEAM SLITS – UP TO 4000W為同步加速器和FEL提供WHITE BEAM狹縫。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是一種堅(jiān)固且高度引導(dǎo)的設(shè)計(jì),可以同時(shí)容納同步加速器和FEL刀片。WHITE BEAM狹縫有重疊的葉片,可以單獨(dú)移動(dòng)。腔室及其支撐被制成使得離子泵可以直接安裝在狹縫上。此外,還有用于儀表、直角閥、RGA 以及其他可能需要的端口。
臂運(yùn)動(dòng)的測(cè)量分辨率 < 200 nm,開(kāi)環(huán)可重復(fù)性 < 2 µm,開(kāi)環(huán)精度 < 3 µm。
當(dāng)強(qiáng)制要求電子漏電流讀數(shù)時(shí),同步加速器WHITE BEAM刀片可吸收高達(dá)1500W的功率。如果可以忽略漏極電流能力,則刀片可以吸收4000W。WHITE BEAM刀片通常由 Cu合金制成,用于吸熱,以及用于光束定義的重元素。光束定義實(shí)體可以是我們的任何狹縫刀片,包括納米拋光棒、刀刃、單晶和多層。
FEL WHITE BEAM刀片可吸收高達(dá)800W的功率。光束定義實(shí)體是多層結(jié)構(gòu),上游有輕元素,通常是金剛石或石墨,隨著光束向下游移動(dòng)通過(guò)結(jié)構(gòu),元素逐漸變重。