·靜態(tài)、動(dòng)態(tài)SIMS
·俄歇電子譜
·離子束濺射
·表面科學(xué)研究
·光柵/ 深度分析

·具有100μm光斑直徑的、0.5～5 keV能量的強(qiáng)離子束
·高電流密度4.5 mA/cm2
·電子轟擊離子源具有氬和氧離子能力
·掃描線散射和離子束光柵的光學(xué)調(diào)整功能，用于深度分析
·離子槍的3°偏移量，用于中性粒子的排斥
·在光柵應(yīng)用中，束消隱裝置可以快速進(jìn)行束的轉(zhuǎn)換
·差式泵源減少室內(nèi)氣體
·便于更換的雙燈絲
·掃描速度可低至64μs
·與SIM 和EQS 探針一起，可以直接進(jìn)行光柵速率/區(qū)域控制

·能量范圍：         500eV ~ 5KeV

·電流：         800nA

·最小光斑尺寸：   50μm

·離子源壽命：     ＞1000小時(shí)

·法蘭規(guī)格：        斜楔法蘭DN-35-CF

·氣源壓力：        0.1~0.5bar至一個(gè)大氣壓