JEOL JSM-7610FPlus 掃描電子顯微鏡采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的小物鏡光闌而不需要改換。光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束斑。

JEOL JSM-7610FPlus 掃描電子顯微鏡規(guī)格：
1.二次電子像分辨率:0.8nm（加速電壓15kV），1.0nm（加速電壓1kV ）,分析時 3.0nm (加速電壓 15 kV, WD8mm, 探針電流5nA )
2.加速電壓:0.1～30kV
3.探針電流:數(shù)pA～200nA
4.電子槍:浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍
5.透鏡系統(tǒng):聚光鏡、光闌角控制鏡、半浸沒式物鏡
6.樣品臺:全對中測角樣品臺、5軸馬達驅(qū)動
7.電子檢測器系列:高位檢測器、r‐過濾器內(nèi)置、低位檢測器
8.自動功能:自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調(diào)節(jié)
9.圖像觀察用:液晶顯示器
10.屏幕尺寸:23英寸寬屏