高面型精度反射鏡，反射率>99.5%，面型精度λ/10，20J/cm2
面精度保證反射鏡也叫做高平整度反射鏡，在眾多的西格瑪光機(jī)反射鏡中，由于面型精度高而出色，高精度反射鏡專(zhuān)為ND YAG激光器以及更高頻率激光器而設(shè)計(jì)。西格瑪光機(jī)OptoSigma的高平整度反射鏡(High Surface Accuracy Mirrors)在鍍膜后表面精度可達(dá)到λ/10
高面型精度反射鏡的主要特點(diǎn)：
- OptoSigma高精度平面反射鏡的表面精度（鍍膜后）比以往的標(biāo)準(zhǔn)多層電介質(zhì)膜平面反射鏡（TFM）更高。
- 通過(guò)使用合成熔融石英和增加基板厚度，可以提高Sigma反射鏡的剛度。
- 西格瑪光機(jī)反射鏡包括用于紫外、YAG和其他激光器等各種波長(zhǎng)的高反射鏡。
| 共同參數(shù) | |
| 材質(zhì) | 合成熔融石英 |
| 鍍膜 | 多層電介質(zhì)涂層 |
| 入射角 | 45°±3° |
| 表面精度 | λ/10 |
| 平行度 | ＜3′ |
| 表面質(zhì)量 | 10-5 |
| 有效直徑 | 外徑的80% |
| 反面 | 光學(xué)拋光 |
該系列反射鏡專(zhuān)為波長(zhǎng)1064nm的ND YAG激光器以及波長(zhǎng)248nm的更高頻率激光器而設(shè)計(jì)。光學(xué)鍍膜為多層電介質(zhì)膜，這款多層電介質(zhì)鏡的入射角度是45°±3°，反射率高達(dá)R>99.5%，損傷閾值高達(dá)20J/cm2。高精度反射鏡是通過(guò)優(yōu)化基板材料、厚度和涂層條件實(shí)現(xiàn)的，其材質(zhì)是熔融石英，因此，基板變厚，基板的剛性更好。
西格瑪光機(jī)反射鏡具備很多的標(biāo)準(zhǔn)品，同時(shí)，OptoSigma還可根據(jù)用戶(hù)的需求定制生產(chǎn)各種反射鏡，有需求的用戶(hù)可聯(lián)系我們?yōu)槟峁└嗟脑敿?xì)信息。
面精度保證反射鏡圖示
高面型精度反射鏡的注意事項(xiàng)：
- 該產(chǎn)品不提供標(biāo)準(zhǔn)表面精度數(shù)據(jù)，若是需要表面精度數(shù)據(jù)文件，則需要額外的文件制作費(fèi)用，請(qǐng)聯(lián)系我們了解詳情。
- 對(duì)于多層電介質(zhì)膜，入射光束的偏振態(tài)不同，反射率波長(zhǎng)特性也不同。P偏振的反射率低于S偏振，且反射帶較窄，其中，反射率由P偏振光和S偏振光的平均值來(lái)表示。
- 如果不將入射角設(shè)置為45°而使用，反射率可能會(huì)降低。
- 如果不在適用的波長(zhǎng)上使用，反射率也可能會(huì)降低。
面精度保證反射鏡的表面精度數(shù)據(jù)（參考數(shù)據(jù)）：
- 表面精度測(cè)量方法：使用Zygo激光干涉儀測(cè)量
- 表面精度測(cè)量波長(zhǎng)：632.8nm
- 表面精確度溫度：23°C±2°C
面精度保證反射鏡的規(guī)格參數(shù)表：
| 規(guī)格 | 波長(zhǎng) | 直徑 | 厚度 | 反射率 | 損傷閾值 |
| HTFM-12.7C08-248 | 248nm | 12.7mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-248 | 248nm | 25.4mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-248 | 248nm | 30mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-248 | 248nm | 50mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-248 | 248nm | 50.8mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-266 | 266nm | 12.7mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-266 | 266nm | 25.4mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-266 | 266nm | 30mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-266 | 266nm | 50mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-266 | 266nm | 50.8mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-308 | 308nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-308 | 308nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-308 | 308nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-308 | 308nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-308 | 308nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-355 | 355nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-355 | 355nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-30C08-355 | 355nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-50C11-355 | 355nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-355 | 355nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-532 | 532nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-532 | 532nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-30C08-532 | 532nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-50C11-532 | 532nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-532 | 532nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-1064 | 1064nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-1064 | 1064nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-30C08-1064 | 1064nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-50C11-1064 | 1064nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-1064 | 1064nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
*激光脈寬10ns，重復(fù)頻率20Hz
OptoSigma高精度平面反射鏡的外形圖和功能說(shuō)明圖：
左圖：外形圖，右圖：功能說(shuō)明圖
OptoSigma高精度平面反射鏡的反射率曲線(xiàn)圖：
