Mprobe 20 單點薄膜測量儀
MProbe 20是一款桌面式單點薄膜厚度測量系統(tǒng),只需點擊鼠標就可進行薄膜厚度和折射率測量,測量厚度范圍1nm-1mm。
MProbe 20可對多層膜層進行測量。
不同的MProbe 20主要由燈源的波長范圍、的波長范圍和分辨率來區(qū)分,這也決定了可以測量的材料的厚度范圍和類型。
MProbe 20基于光譜,具有快速、可靠、無損等特點。
配置包括:
控制器(包括光譜儀、光源、光控制器、微處理器)
SH200A樣品臺,帶對焦鏡頭,可微調(diào)
光導纖維反射探頭
TFCompanion -RA軟件、USB適配器(密鑰)、USB記憶棒附帶軟件發(fā)行、用戶指南等資料
根據(jù)型號和黑色吸收體的不同,校準裝置(裸硅片和/或石英板和/或鋁鏡)
測試樣品200nm的氧化硅或PET薄膜,視型號而定
USB或LAN線(用于連接主機和PC)
24VDC電源適配器(110/220V)
核心指標:
精度:<>
精度:<>
穩(wěn)定性:<>
光斑大小:<>
樣本尺寸:>= 10mm
參見下面小冊子中MProbe 20薄膜厚度測量系統(tǒng)可用配置的詳細規(guī)格
選型列表:
MProbe 20 | 波長范圍 | 厚度測量范圍 |
Vis | 400 -1100nm | 10nm – 75 μm |
VisHR | 700-1100nm | 1um-300um |
UVVISSR | 200 -1100nm | 1nm -50μm |
NIR | 900-1700nm | 100nm – 100μm |
VISNIR | 700-1700nm | 10nm-200μm |
UVVISNIR | 200-1700nm | 1nm -200μm |