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NS3500 Solar 半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海巨納科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/2/16 13:49:38
  • 訪問次數(shù)221
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海巨納科技有限公司是一個集科、工、貿(mào)為一體的現(xiàn)代化高科技企業(yè),下屬多家生產(chǎn)工廠和貿(mào)易公司,主要從事太陽能、光通信、生物化學(xué)、國際貿(mào)易、耗材配件等業(yè)務(wù)。公司分有光通信事業(yè)部、太陽能事業(yè)部、科學(xué)儀器事業(yè)部、生化儀器事業(yè)部、國際貿(mào)易事業(yè)部和耗材配件事業(yè)部。主營產(chǎn)品:1.公司生化儀器事業(yè)部前身是一個集開發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)為一體的專業(yè)性生化儀器工廠,擁有雄厚的技術(shù)力量、*的生產(chǎn)設(shè)備和工藝、完善的管理體系及優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。自成立二十多年以來,注重吸收德國*技術(shù),不斷采用新科技、新材料、新工藝、研制開發(fā)出了旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器、低溫槽、真空泵、超級恒溫槽、冷凍干燥機(jī)、培養(yǎng)箱、振蕩器、攪拌器、離心機(jī)、水浴鍋等各種系列的一百多個產(chǎn)品。產(chǎn)品高等院校、醫(yī)院、化工、生化、防疫、環(huán)保等科研單位,并大量出口到德國、巴基斯坦、印度尼西亞、西班牙、英國、巴西、中國臺灣等國家和地區(qū)。 2.光通信事業(yè)部,根據(jù)《低噪聲指數(shù)增益鉗制摻鉺光纖放大器》和《光纖光柵增強(qiáng)的L波段雙通摻鉺光纖放大器》等技術(shù),開發(fā)一系列適用于科學(xué)研究、實際光通信系統(tǒng)使用的高質(zhì)量低成本摻鉺光纖放大器(EDFA),技術(shù)達(dá)到水平。同時,做為光通信公司日本Santec株式會社在中國的光通信系列產(chǎn)品的代理商。3.太陽能事業(yè)部,主要從事太陽能電池,太陽能光伏,太陽能組件相關(guān)產(chǎn)品的研制、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、施工和服務(wù)。同時,以振興中國綠色能源為己任,與國外公司合作,把世界的太陽能設(shè)備帶給中國用戶。4.公司國際貿(mào)易部,作為多家世界高科技儀器公司在中國市場的總代理,與他們保持著*的合作關(guān)系。德國Nanofocus白光共焦表面形貌顯微系統(tǒng)(光學(xué)輪廓儀)、3D激光輪廓儀;瑞士Lyncee Tec SA公司的數(shù)字全息顯微鏡;美國CRAIC公司紫外,可見,紅外顯微分光光度系統(tǒng);加拿大ZABE(精密線性定位器、電機(jī)驅(qū)動反射鏡座,集成的微定位系統(tǒng),電機(jī)驅(qū)動微位移平臺);瑞士NOVASIN的壓差計和相對溫濕度計,法國Sofraser公司在線粘度計;德國BOECO實驗室儀器(分光光度計、各種攪拌器、離心機(jī)、PH儀, 電導(dǎo)計, 電極緩沖液、搖床、混合器、天平、實驗玻璃器材等),為國內(nèi)的客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。
簡要描述:NS-3500 Solar 是一種可靠的半導(dǎo)體晶圓檢測系統(tǒng)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面擁有各種解決方案。
NS3500 Solar 半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

NS3500 Solar 半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測系統(tǒng)

NS-3500 Solar 是一種可靠的半導(dǎo)體晶圓檢測系統(tǒng)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):

  • 高分辨無損傷光學(xué)3D測量                               自動傾斜補(bǔ)償

  • 實時共焦成像                                                 簡單的數(shù)據(jù)分析模式

  • 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

    大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

  • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準(zhǔn)備

  • 自動聚焦

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析




Specifications(規(guī)格):

Model

Microscope  NS-3500 Solar

備注

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x


觀察/  測量范圍  

水平 (H): μm

1400

700

280

140


垂直 (V): μm

1050

525

210

105


工作范圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3


數(shù)值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95


光學(xué)變焦

x1 to x6


總放大倍率

178x to 26700x


觀察/測量光學(xué)系統(tǒng)  

Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng)


高度測量

測量掃描范圍

400 um

注 1

顯示分辨率

0.001 μm


重復(fù)率 σ

0.010 μm

注 2

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


單色圖像

12 bit


彩色圖像

8-bit for RGB each


高度測量

16 bit


幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz


線掃描

~8 kHz


激光共焦測量光源

波長

405nm


輸出

~2mW


激光等級

Class 3b


激光接收元件

PMT (光電倍增管)


光學(xué)觀察光源

10W LED


光學(xué)觀察照相機(jī)

成像元件

1/2" 彩色圖像 CCD 傳感器


記錄分辨率

640x480


自動調(diào)整

增益, 快門速度, White balance


數(shù)據(jù)處理單元

PC


電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


電流消耗

500 VA max.


重量

顯微鏡

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)


控制器

~8 kg


隔振系統(tǒng)

氣浮光學(xué)平臺隔振系統(tǒng)

Option

           

注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器(PZT)執(zhí)行。

注2 :以100×/ 0.95物鏡對標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長1μm)進(jìn)行100次測量。        



15700106413
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