滑動式二硫化鉬CVD制備設備
一、 滑動式二硫化鉬CVD制備設備概述
硫粉預熱器采用管內(nèi)測控溫以保證在250℃以下，穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時機和蒸發(fā)溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調(diào)節(jié)真空蝶閥的開啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定，在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、 滑動式二硫化鉬CVD制備設備設備組成
HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐，HTF400C硫粉預熱器(雙溫區(qū)管式爐與預熱器可滑動)，質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)，機械式真空泵等組成。
三、 滑動式二硫化鉬CVD制備設備主要技術(shù)參數(shù)
硫粉預熱器
型號：HTF-400C
工作溫度：350℃
MAX溫度：400℃
MAX升溫速率：30℃/min
推薦升溫速率：10℃/min
控溫方式：智能化30段可編程控制
工作電壓：AC220 V額定功率：800W
控溫精度：±1℃
加熱元件：電阻絲
雙溫區(qū)硫化爐
型號：HCVD-1200S
技術(shù)參數(shù)：額定功率(KW):3
額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz
MAX溫度(℃):1200（1 hour）
持續(xù)工作溫度(℃）：1100
升溫速率（℃/min）：≤50
爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1500mm
加熱區(qū)長度（mm）：440mm
恒溫區(qū)長度（mm）:200mm
控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度(℃):±1
加熱元件:電阻絲
供氣系統(tǒng)GMF3Z
質(zhì)量流量計重量：35Kg
外形尺寸：600x600x650mm
連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭
標準量程（N2標定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制）
準確度：±1.5%線性：±0.5～1.5%重復精度：±0.2%
響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa MAX壓力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
顯示：4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度:5~45℃
內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6
壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥：Φ6
低真空機組VAU-02
技術(shù)參數(shù)：
空氣相對濕度≤85%
工作電電壓：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
抽氣速率：4L/s
極限真空：4X10-2Pa
實驗真空度：1.0X10-1Pa
容油量：1.1L
進氣口口徑：KF25
排氣口口徑：KF25
轉(zhuǎn)速：1450rpm
噪音：50dB
外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過濾器，DN25手動蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力，INFICON PCG554復合真空計
