MarSurf WS 1 是基于白光干涉法使用的一種光學(xué)表面?zhèn)鞲衅鳌?該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)快速和高精度表面形貌測(cè)量 并適用于大范圍不同材質(zhì)工件。
該設(shè)計(jì)與傳統(tǒng)干涉法相似 而不同的是 采用了白光而不是連續(xù)光。因?yàn)榘坠庥休^短的連續(xù)長(zhǎng)度 所以在反應(yīng)表面形貌測(cè)量時(shí) 表現(xiàn)更的特性。 相比傳統(tǒng)干涉法 在測(cè)量高度時(shí) 高度信息可以被清晰顯示和分析。被測(cè)表面區(qū)域在CCD相機(jī)中顯示 表面區(qū)域和高精度參考表面通過(guò)物鏡面干涉 以相同比例成像(Mirau 物鏡) 通過(guò)分光器取樣圖形和參考圖形變得層次性 并在相機(jī)中獲得干涉。
在測(cè)量過(guò)程中 Mirau 物鏡可通過(guò)遠(yuǎn)程位置調(diào)節(jié)器在Z軸方向進(jìn)行小范圍移動(dòng) 產(chǎn)生的干涉圖記錄為圖像堆和評(píng)定 終轉(zhuǎn)換為高度數(shù)據(jù)。

MarSurf WS 1 既可用于精密的實(shí)驗(yàn)室 也可以用于生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境。
其他光學(xué)測(cè)量原理在測(cè)量不同類型表面時(shí) 很容易超出其測(cè)量范圍 其中一些不能實(shí)現(xiàn)高度反射表面測(cè)量 另外一些則甚至不能正確測(cè)量粗糙表面。
MarSurf WS 1 及它革新的測(cè)量信號(hào)評(píng)定適用于反光工件表面和粗糙工件表面的分析。 例如 垂直方向高分辨率可進(jìn)行光學(xué)組件如透鏡或鏡片表面粗糙度次微米級(jí)精度測(cè)量。也可進(jìn)行微型機(jī)械組件表面質(zhì)地檢測(cè) 測(cè)量適用于各種材質(zhì)的工件 可測(cè)量玻璃、紙質(zhì)、油面、金屬、塑料、涂層和液體。
MarSurf XT 20 形貌測(cè)量軟件是一個(gè)強(qiáng)大的評(píng)定工具，擁有大范圍的功能。歸功于標(biāo)準(zhǔn) MarWin 軟件平臺(tái) 您也可以同樣從MarSurf XC 20 軟件獲益。

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? 高圖像比率 例如: 較短的測(cè)量時(shí)間
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