可斷電使用的高穩(wěn)定性機(jī)械式大口徑變形鏡
自2003年以來，它們被CEA成功地測(cè)試出了兆焦耳激光，并取代了壓電技術(shù)。自2007年以來，ISP系統(tǒng)已經(jīng)安裝了幾十個(gè)使用微型驅(qū)動(dòng)器的MD-AME可變形反射鏡。其主要特點(diǎn)是不存在“print-through”效應(yīng)，運(yùn)動(dòng)線性度高，遲滯率低，在不加電源的情況下具有穩(wěn)定性。ISP系統(tǒng)專業(yè)從事精密工程、光學(xué)力學(xué)和機(jī)電一體化等領(lǐng)域，ISP為激光系統(tǒng)和同步變色器開發(fā)了帶有機(jī)電驅(qū)動(dòng)器和定位器的ISP機(jī)械式變形鏡。
ISP可變形反射鏡具有動(dòng)態(tài)校正范圍大、維護(hù)方便、涂層選擇方便、易于對(duì)大口徑激光束擴(kuò)展、抗電磁脈沖等優(yōu)點(diǎn)。它們與高真空兼容，并提出了一種低放氣版本，適用于可變形反射鏡位于靠近壓縮光柵的場(chǎng)合。該設(shè)計(jì)允許在涂層損壞的情況下很容易地更換涂層。一個(gè)主動(dòng)冷卻版本可用于連續(xù)激光器的功率高達(dá)30千瓦。
ISP機(jī)械式變形鏡（Md-AME）特點(diǎn)：
-最初的技術(shù)集中于激光技術(shù)人員的需求
-納米精度波前校正
-對(duì)激光束無網(wǎng)格效應(yīng)
-工作瞳孔：從?22mm到?800mm，圓形或方形，任何入射角
-低滯后 (< 0.1%)
-良好的線性度(>99%)
-尺寸范圍很廣，從22毫米到800毫米不等
-控制架
-通過LASQUA集團(tuán)提供自適應(yīng)光學(xué)回路
-與任何波前分析儀和波前校正軟件的接口
ISP機(jī)械式變形鏡（Md-AME）兼容性：
-主動(dòng)或被動(dòng)冷卻
-執(zhí)行器數(shù)量
- Zernike模式動(dòng)力學(xué)和可實(shí)現(xiàn)的階數(shù)
- 孔徑大小和入射角
- 控制策略
- 環(huán)境兼容性（嵌入式、空間等）
- 軟件環(huán)境（Windows、Linux 等）
- 光學(xué)表面涂層（波長(zhǎng)、損傷閾值、反射率……）
ISP機(jī)械式變形鏡（MD-AME Space）特點(diǎn)：
-空間應(yīng)用中的波前校正
-提高空間望遠(yuǎn)鏡成像質(zhì)量
-低滯后
-極低能耗
-低壓電源：24V
-低滯后（< 0.1%）
空間變形鏡（MD-AME Space）MD85-C-31-SPACE特點(diǎn)：
-工作瞳孔：直徑 85 mm
-金屬涂層
-31個(gè)執(zhí)行器 (μ-AME12-Space)
- Zernike order 4
-尺寸?180 x 100mm（不包括連接器）
-重量 4kg
MIRISP機(jī)械式變形鏡（紅外激光應(yīng)用）特點(diǎn)：
-微力致動(dòng)器校正的像差
-對(duì)激光束無網(wǎng)格效應(yīng)
-良好的線性度(<99%)
-高穩(wěn)定性，不含能量
-長(zhǎng)期穩(wěn)定及不包括電力供應(yīng)
-滯后比壓電致動(dòng)器低(＜0.1%)
-控制架
-工作瞳孔：橢圓形 40 x 57 mm
-鍍金 (R > 98% @ λ = 10 µm)
-傳導(dǎo)散熱2W
-25個(gè)執(zhí)行器
-Zernike ordre 3（不包括活塞）
-尺寸 W 150 x H 110 x D 180（不包括連接器）
-重量 5kg
ISP機(jī)械式變形鏡ILAO（強(qiáng)激光自適應(yīng)光學(xué)）特點(diǎn)：
-技術(shù)
-與ImageOptic合作開發(fā)
-高光學(xué)質(zhì)量的鏡面 (<10 nm rms)
-配備微力執(zhí)行器(AME)網(wǎng)絡(luò)：37個(gè)或52個(gè)執(zhí)行單元
-滯后比壓電致動(dòng)器低(0.1%而不是10%)
-接觸表面力的均勻分布
-在鏡子上沒有摩擦力或指紋效應(yīng)
-長(zhǎng)期穩(wěn)定性
-有多種型號(hào)，多種尺寸等。
ISP機(jī)械式變形鏡ILAO（強(qiáng)激光自適應(yīng)光學(xué)）規(guī)格：
| 型號(hào) | 執(zhí)行器 | 最小光束直徑 | 光束直徑 | 傾角 | 膜層 |
| ILAO 65 | 37 | 40 mm | 65mm | 90° | 高達(dá) 90 mm |
| ILAO 96-65 | 37 | 65mm | 65mm | 45° | 高達(dá)120 x 90 mm |
| ILAO 95 | 52 | 95mm | 95mm | 90° | 高達(dá)120 mm |
| ILAO 135-95 | 52 | 95mm | 95mm | 45° | 高達(dá)170 x 120mm |
| ILAO 135 | 52 | 135mm | 135mm | 90° | 高達(dá)170 mm |
| ILAO 180-135 | 52 | 135mm | 135mm | 45° | 高達(dá)220 x 170 mm |
| ILAO 180 | 52 | 180mm | 180mm | 90° | 高達(dá)220 mm |
| ILAO 245-180 | 52 | 180mm | 180mm | 45° | 高達(dá)280 x 220 mm |
| ILAO 245 | 52 | 245mm | 245mm | 90° | 高達(dá)280 mm |
| ILAO 335-245 | 52 | 245mm | 245mm | 45° | 高達(dá)350 x 280 mm |
| ILAO 335 | 52 | 335mm | 335mm | 90° | 高達(dá)350 mm |
